書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：設(shè)備和容器的清潔程序

編號(hào)：JFKJ-21-172

作者：炬豐科技

介紹

? 這里概述的清潔程序是由DEC溢漏預(yù)防和反應(yīng)局的人員使用，以指導(dǎo)或評(píng)估實(shí)驗(yàn)室承包商的表現(xiàn)，并在現(xiàn)場(chǎng)使用前和之后清潔取樣和其他保留設(shè)備，以及取樣容器。?應(yīng)將足夠的設(shè)備和樣品容器運(yùn)送到現(xiàn)場(chǎng)，以便無(wú)需在現(xiàn)場(chǎng)清洗樣品容器和設(shè)備就能進(jìn)行完整的檢查或調(diào)查。?然而，當(dāng)使用專業(yè)的野外設(shè)備時(shí)，這并不總是可能的。?包括現(xiàn)場(chǎng)清洗程序，以覆蓋這些特殊問(wèn)題區(qū)域。?還包括應(yīng)急現(xiàn)場(chǎng)樣品容器清洗程序;?但是，除非絕對(duì)必要，否則不應(yīng)該使用它們。?具體的清潔程序?qū)⒃谙旅娴恼鹿?jié)中介紹。 ?

清潔材料 ?

? 本程序中所述的清潔材料在下列各段中作了定義。實(shí)驗(yàn)室用洗滌劑應(yīng)選用無(wú)磷實(shí)驗(yàn)室用洗滌劑的標(biāo)準(zhǔn)品牌。?任何其他洗滌劑的使用必須在現(xiàn)場(chǎng)日志和檢查或調(diào)查報(bào)告中加以證明和記錄。10%的硝酸溶液由試劑級(jí)硝酸和去離子水配制。標(biāo)準(zhǔn)清洗溶劑應(yīng)為農(nóng)藥級(jí)異丙醇。?但是，如果需要的話，溶劑可以代替特殊的研究。?農(nóng)藥級(jí)的丙酮或甲醇都是可接受的。?然而，應(yīng)該注意的是，如果使用農(nóng)藥級(jí)的丙酮，用丙酮清洗設(shè)備采集的樣品中丙酮的檢測(cè)是可疑的。?農(nóng)藥級(jí)甲醇的使用比農(nóng)藥級(jí)異丙醇或丙酮危險(xiǎn)得多，因此不鼓勵(lì)使用。?農(nóng)藥級(jí)己烷、石油醚不能與水混溶;?因此，除非設(shè)備是干燥的，否則這兩種溶劑都不是有效的漂洗劑。?使用除農(nóng)藥級(jí)異丙醇以外的任何溶劑進(jìn)行設(shè)備清洗都必須有正當(dāng)理由，其使用必須記錄在現(xiàn)場(chǎng)日志和檢查或調(diào)查報(bào)告中。自來(lái)水可用于任何市政水處理系統(tǒng)。?使用未經(jīng)處理的飲用水是不能代替自來(lái)水的。去離子水是指通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)去離子水樹脂柱處理過(guò)的自來(lái)水。?去離子水應(yīng)不含重金屬或其他無(wú)機(jī)化合物(即達(dá)到或超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)分析方法電感耦合氬等離子體分光光度計(jì)，掃描或任何合理的等效方法所定義的分析檢測(cè)限度)。?無(wú)有機(jī)水是指經(jīng)過(guò)活性炭和去離子化裝置處理的自來(lái)水。?由5微米預(yù)濾池、活性炭裝置、兩個(gè)混合床去離子裝置、0.2微米后濾池和后濾池組成，可產(chǎn)生無(wú)有機(jī)水。?milliq系統(tǒng)還能產(chǎn)生無(wú)有機(jī)水。?

用于收集有毒或危險(xiǎn)廢物中的硫胺 ???略

清潔材料的正確處理?????????略

儲(chǔ)存現(xiàn)場(chǎng)清理tmd樣品容器 ???略