國產(chǎn)光刻機(jī)“第一股”仍未誕生。
投資界獲悉，今日（7月29日）華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首發(fā)上會，而最新結(jié)果出爐——暫緩審議。上市委現(xiàn)場詢問要求發(fā)行人代表說明光刻機(jī)雙工件臺業(yè)務(wù)產(chǎn)業(yè)化前景；進(jìn)一步說明發(fā)行人技術(shù)研發(fā)是否對清華大學(xué)構(gòu)成重大依賴，發(fā)行人是否具備持續(xù)的自主研發(fā)能力。
華卓精科的掌舵者，是一位60后清華教授——朱煜。1979年，14歲的朱煜考上了北京師范大學(xué)，18歲在中國礦業(yè)大學(xué)擔(dān)任講師。2001年，朱煜到清華大學(xué)進(jìn)修博士后，開始了有關(guān)光刻機(jī)的研究工作。隨后十余年間，他一邊在清華任教，一邊帶領(lǐng)著團(tuán)隊一納米一納米地攻克技術(shù)難關(guān)，期間多次面臨經(jīng)費緊張的囧境。2012年，朱煜帶著團(tuán)隊走出象牙塔，成立了華卓精科。
9年磨一劍。如今華卓精科生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺，打破了荷蘭 ASML公司在光刻機(jī)工件臺上的技術(shù)壟斷，成為世界唯二掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司。站在背后的投資方，也具有濃厚的清華色彩——種子輪投資方且最大機(jī)構(gòu)股東水木創(chuàng)投是清華大學(xué)下設(shè)的產(chǎn)業(yè)化投資管理平臺。
光刻機(jī)歷來被譽為“半導(dǎo)體皇冠上的明珠”，甚至圈內(nèi)流傳一則感嘆：光刻機(jī)比原子彈還難造。如今國產(chǎn)光刻機(jī)仍處于被“卡脖子”的狀態(tài)，所有人都在期待著一個里程碑式的突破。

56歲清華教授

9年做了一家公司，沖刺科創(chuàng)板IPO

華卓精科的故事要從一位清華教授說起。

上世紀(jì)70年代，1965年出生的朱煜乘著高考恢復(fù)的東風(fēng)，成功考入了北京師范大學(xué)。大學(xué)畢業(yè)后，他便進(jìn)入中國礦業(yè)大學(xué)擔(dān)任講師。此后一段時間，他在準(zhǔn)備日常教學(xué)任務(wù)的同時，還在中國礦業(yè)大學(xué)拿到了碩士和博士學(xué)位。

而后，朱煜進(jìn)入清華大學(xué)制造工程研究所進(jìn)修博士后。2001年，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML企業(yè)首次推出了雙工件臺系統(tǒng)，開創(chuàng)了先河。一次偶然機(jī)會，朱煜目睹ASML雙工件臺的展示視頻，大受震撼，“我下意識地對自己說，這就是我想要做的，中國必須掌握這樣的尖端技術(shù)?！弊源耍娜斯ぼ壽E便與半導(dǎo)體芯片核心設(shè)備——光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展交織在一起。

隨后，朱煜和團(tuán)隊開始了光刻機(jī)的研發(fā)。2002年，他們?nèi)〉玫谝豁楇p工件臺專利；2004年，他加入清華大學(xué)精儀系，任職副教授。同年，他們團(tuán)隊研制出了10納米同步精度的超精密運動平臺。

但困難很快出現(xiàn)了：2004年到2008年，團(tuán)隊缺乏研究經(jīng)費，研究幾度陷入停頓。期間，朱煜為了保證研發(fā)項目繼續(xù)研發(fā)，做了多方嘗試。

2006年，集成電路裝備正式被列入國家16個科技重大專項，由于被列在第二個，業(yè)內(nèi)稱之為“02專項”。當(dāng)時，朱煜和他的團(tuán)隊積極參與到國家舉辦的“02專項”光刻機(jī)項目。奈何，該項目落地實施耗時很長，科研經(jīng)費不能馬上到賬。于是，朱煜曾向清華大學(xué)借款700萬，以保證研發(fā)工作的繼續(xù)。

三年后，“02專項”正式實施落地，拿到科研經(jīng)費的他們便全身心投入到雙工件臺的研發(fā)工作中。到了2012年，在清華大學(xué)的支持下，朱煜等8位清華大學(xué)IC制造裝備研究室核心成員走出實驗室，創(chuàng)辦了華卓有限，即華卓精科的前身。

創(chuàng)業(yè)之初，技術(shù)研發(fā)仍是朱煜團(tuán)隊的頭等大事。那段時間，創(chuàng)始團(tuán)隊的主力成員輪番上陣，實驗室中晝夜無休。終于在2016年，華卓精科研制成功兩套α樣機(jī)，并成為光刻機(jī)項目群中首個通過02專項驗收的項目。華卓精科成為國內(nèi)首家可自主研發(fā)并實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺供應(yīng)商。

2018年，朱煜曾公開表示，華卓精科生產(chǎn)的雙工件臺打破ASML在工件臺上的技術(shù)壟斷。華卓精科是世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司，更是全球唯一一家能夠單獨供應(yīng)工件臺的公司。

成立9年的時間里，華卓精科曾登陸過新三板，直到2019年2月終止。2020年6月24日，上交所科創(chuàng)板正式受理了華卓精科的上市申請，并于今日（7月29日）到科創(chuàng)板IPO上會，接受上市委的審議。

最新消息，科創(chuàng)板上市委員會給了暫緩審議意見：請發(fā)行人結(jié)合光刻機(jī)雙工件臺業(yè)務(wù)尚未實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的情況，說明發(fā)行人申報期內(nèi)的主要業(yè)務(wù)是否符合科創(chuàng)板定位和發(fā)行上市條件，光刻機(jī)雙工件臺業(yè)務(wù)及02專項相關(guān)信息披露是否符合國家法律法規(guī)規(guī)定和科創(chuàng)板發(fā)行上市信息披露要求。請保薦人和其他中介機(jī)構(gòu)發(fā)表明確意見。

招股書背后

“光刻機(jī)第一股”跑出來有多難？

雖然此次華卓精科沖刺A股“光刻機(jī)第一股”，但公司并不能直接生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī)。

官網(wǎng)顯示，華卓精科主營業(yè)務(wù)為集成電路制造裝備及關(guān)鍵零部件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。目前產(chǎn)品包括光刻機(jī)雙工件臺及其衍生產(chǎn)品超精密運動平臺、激光退火設(shè)備、晶圓鍵合設(shè)備等整機(jī)設(shè)備及半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件，主要應(yīng)用于集成電路芯片制造、先進(jìn)封裝、功率器件制造等產(chǎn)線。總而言之，華卓精科的產(chǎn)品是光刻機(jī)所需的關(guān)鍵零部件。

在芯片制造中，光刻機(jī)是技術(shù)難度最高、最關(guān)鍵的設(shè)備之一。一顆芯片上布滿了數(shù)以十億記的晶體管與電路，而光刻機(jī)想要在方寸大小的芯片上刻出每一條線路、每一個晶體管的位置，需要投影物鏡和光源和工件臺系統(tǒng)及運動控制技術(shù)的配合，其中工件臺成本占到整個光刻機(jī)成本的10%-20%。

業(yè)績情況如何？招股書顯示，2018至2020年，華卓精科分別實現(xiàn)營收8570.92萬元、1.21億元、1.52億元?？梢姡緺I業(yè)收入規(guī)?？焖贁U(kuò)張，公司2019 年度營業(yè)收入增幅41.14%，2020 年度營業(yè)收入增幅25.94%。

值得注意的是，華卓精科營收的主要來源并不是“工件臺”，而是精密運動系統(tǒng)。精密運動系統(tǒng)更是是一個動力裝備，主要功能幫助零部件實現(xiàn)精密運動或定位。數(shù)據(jù)顯示，2018年-2020年，該公司精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)業(yè)務(wù)收入分別為 6526.26 萬元、7997.78 萬元和 9655.11萬元，占同期主營業(yè)務(wù)收入的比例分別為76.14%、66.12%和63.47%。

在精密運動系統(tǒng)領(lǐng)域，華卓精科的產(chǎn)品進(jìn)入了中科飛測、中山新諾、長光華大等各個領(lǐng)域龍頭企業(yè)的供應(yīng)鏈，同時為中科大、南京大學(xué)、暨南大學(xué)等多所高校和科研機(jī)構(gòu)提供產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

而光刻機(jī)雙工件臺、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等其他產(chǎn)品還處于商業(yè)化初期，規(guī)模化產(chǎn)品銷售。其中，光刻機(jī)雙工件臺的客戶極為單一。目前國內(nèi)客戶僅有上海微電子有該類產(chǎn)品采購需求?，F(xiàn)階段，華卓精科DWS系列光刻機(jī)雙工件累計發(fā)貨4臺，仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。同時，其晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等產(chǎn)品還與上海微電子存在競爭。

這種高精尖的技術(shù)，往往需要長期消耗大量資金。據(jù)招股書披露數(shù)據(jù)，2018年-2020年，華卓精科研發(fā)投入1374.99萬元、1741.59萬元、2137.09萬元。實際上，政府補助會沖減一部分研發(fā)費用。2018年-2020年，沖減研發(fā)費用分別為6881.58萬元、12440.25萬元、17349.07萬元。如此計算，華卓精科每年將燒掉上億元研發(fā)經(jīng)費。

揭秘背后融資歷程

清華系撐起中國半導(dǎo)體半壁江山

華卓精科背后出現(xiàn)一眾VC/PE的身影。

據(jù)投資界不完全統(tǒng)計，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資，其中在公司掛牌新三板期間，共實施了5次定向增發(fā)，合計定增募資總額約為1.42億元。背后的投資陣容囊括了水木創(chuàng)投、中金公司、大華大陸投資、渾璞投資、紅星美凱龍、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(下稱“國家大基金”)等一線機(jī)構(gòu)的身影。

回顧融資歷程，華卓精科的啟動資金恰恰來自于“自己人”。天眼查APP顯示，2012年9月，華卓精科完成了種子輪融資，投資方為水木創(chuàng)投。這家VC是清華工業(yè)開發(fā)研究院旗下設(shè)立的科技成果產(chǎn)業(yè)化投資管理平臺，其核心理念便是以市場需求為導(dǎo)向，整合清華大學(xué)的智力、政府和市場資源，專注清華科技成果產(chǎn)業(yè)化實踐和展望。值得一提的是，水木創(chuàng)投管理合伙人吳勇，同時擔(dān)任華卓精科董事長一職。

2015年5月，華卓精科完成了500萬元A輪融資，投資方為中海投資與中關(guān)村海淀園創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心。資料顯示，兩家機(jī)構(gòu)均由中關(guān)村科技園區(qū)海淀園管委會發(fā)起設(shè)立。

隨后在2018年10月，華卓精科又獲得了一輪8700萬元的戰(zhàn)略融資，引入了中金公司、紅星美凱龍、渾璞投資作為股東。同年11月，紅星美凱龍及渾璞投資又參與了華卓精科的價值7587.50萬元的定向增發(fā)。接連完成的這兩筆融資，為接下來華卓精科新三板退市，沖刺科創(chuàng)板IPO奠定了基礎(chǔ)。

緊接著，國家大基金也出手了。先是在2019年1月，國家大基金為LP之一的上海裝備材料基金，參與了華卓精科的新一輪定向增發(fā)；同年3月，國家大基金聯(lián)手祥暉資本、中麗基金共同完成了對華卓精科的B輪融資。

招股書顯示，IPO后，華卓精科創(chuàng)始人朱煜持股26.79%為第一大股東；水木創(chuàng)投為最大機(jī)構(gòu)股東，總計持股11.65%；渾璞投資與中金公司分別持股4.43%、2.30%，位列機(jī)構(gòu)股東第二、三位。

誕生于清華園內(nèi)的華卓精科，可謂是清華系半導(dǎo)體創(chuàng)業(yè)者的一縷縮影。在這座百年學(xué)府，已走出國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的眾多重要人物。

1977年，陳大同進(jìn)入清華大學(xué)無線電電子學(xué)系學(xué)習(xí)，是同屆唯一一名學(xué)習(xí)半導(dǎo)體專業(yè)的學(xué)生。抱著從國外學(xué)習(xí)先進(jìn)技術(shù)，回國振興半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的愿望，當(dāng)年陳大同等一群人遠(yuǎn)赴海外深度研究。

2000年回國后，陳大同發(fā)現(xiàn)中國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)幾乎退回了初始狀態(tài)，便攜手清華同盟武平等聯(lián)合創(chuàng)辦了展訊通信，決心通過創(chuàng)業(yè)推動中國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)“鳳凰涅槃”。在這一列隊中還有中芯國際董事長趙海軍、華大半導(dǎo)體總經(jīng)理童浩然等。

多年后，一個極富傳奇色彩的班級誕生了——EE85班，一眾芯片大佬從這里走出。今年年初，EE85班的韋爾股份創(chuàng)始人虞仁榮捐資在家鄉(xiāng)寧波創(chuàng)辦了一所理工類新型研究型大學(xué)。這一隱秘而偉大的班級集體里，還有趙偉國、兆易創(chuàng)新創(chuàng)始人之一舒清明、卓勝微電子聯(lián)合創(chuàng)始人馮晨暉、格科微電子創(chuàng)始人趙立新、燧原科技創(chuàng)始人趙立東等知名芯片企業(yè)家的身影。這群清華學(xué)子，幾乎撐起了中國半導(dǎo)體的半壁江山。

華為也來了

為了國產(chǎn)光刻機(jī)，大家拼了

攻克光刻機(jī)，成為當(dāng)下國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)刻不容緩的任務(wù)。

光刻機(jī)被譽為“半導(dǎo)體皇冠上的明珠”，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最關(guān)鍵設(shè)備。光刻工藝決定了半導(dǎo)體線路的線寬，同時也決定了芯片的性能和功耗?？梢哉f，光刻機(jī)賦予了芯片“生命”。正因如此，在當(dāng)前“缺芯危機(jī)”的影響下，國內(nèi)在高端芯片生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)的短板被再度放大。

外界歷來有一個疑問：“為什么中國連原子彈都可以造出來，卻造不出光刻機(jī)？”

核心原因在于，光刻機(jī)是橫跨多個學(xué)科、產(chǎn)業(yè)的最頂級理論、技術(shù)與工藝的產(chǎn)物。一臺光刻機(jī)由十萬多個部件組成，集數(shù)學(xué)、化學(xué)、精密光學(xué)、流體力學(xué)、精密機(jī)械、自動化控制、軟件工程、圖像識別、電子電路等領(lǐng)域的頂尖技術(shù)于一身。一旦其中一項技術(shù)出現(xiàn)瓶頸，光刻機(jī)就無法面世。

縱觀全球光刻機(jī)市場，荷蘭公司ASML是當(dāng)之無愧的霸主。2020年，ASML占據(jù)全球EUV光刻機(jī)出貨的100%，占全球DUV光刻機(jī)出貨的62%，剩下的份額由尼康和佳能瓜分。但即使是一家獨大的ASML，也無法獨立制造光刻機(jī)，90%的零件都由其它廠商提供。例如，光源技術(shù)是美國的、光學(xué)設(shè)備是日本的、軸承是瑞典的、閥件是法國的、機(jī)械工藝和蔡司鏡頭是德國的。

國際環(huán)境造成的影響同樣不可忽視。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV光刻機(jī)到中國，需要取得荷蘭政府的出口許可。這也導(dǎo)致國內(nèi)半導(dǎo)體龍頭中芯國際于三年前，斥資1.2億美元向ASML訂購的一臺EUV光刻機(jī)，至今遲遲無法得到交付。

欣慰的是，在攻克光刻機(jī)的這條荊棘之路上，華卓精科正迎來越來越多的同行者。

成立于2002年的上海微電子裝備集團(tuán)，正在全力追趕ASML。資料顯示，上海微電子擁有3200項直接持有專利和專利申請，完全掌握了先進(jìn)封裝光刻機(jī)、高亮度LED光刻機(jī)等技術(shù)。今年7月20日，由上海微電子交付的首臺國產(chǎn)封裝光刻機(jī)，正式入駐青島新芯科技工廠，年產(chǎn)能可達(dá)到36萬片晶圓，而工藝制程最高可達(dá)65nm。與此同時，預(yù)計在今年底，上海微電子將正式交付首臺28nm工藝制程國產(chǎn)光刻機(jī)，實現(xiàn)28nm工藝芯片純國產(chǎn)化，并在明年突破14nm工藝芯片純國產(chǎn)化。

與此同時，VC/PE們紛紛都在行動。早在2019年10月，第二期國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金注冊成立，規(guī)模超過2000億元。與大基金一期投資范圍不同的是，大基金二期將重點投資半導(dǎo)體設(shè)備及材料，包括光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、大硅片、光刻膠等等。不久前，國產(chǎn)光刻膠公司南大光電前獲得大基金二期1.83億元投資，該公司研發(fā)的新一代ArF光刻膠也有望用于14/7nm工藝。

華為也出手了。今年6月，華為旗下哈勃投資入股了北京科益虹源公司，占股4.76%，為第七大股東。值得關(guān)注的是，北京科益虹源由中科院微電子所控股，是一家光刻機(jī)核心零部件公司，主要產(chǎn)品為DUV（深紫外）光刻光源產(chǎn)品系列，國內(nèi)首臺高能準(zhǔn)分子激光器就出自其手。

這將是一場漫長的征途。正如元禾璞華管理合伙人陳大同所言，像半導(dǎo)體這種硬科技項目需要付出時間去研發(fā)，不能指望一兩年短時間的爆發(fā)，即便上市最快也需要五年左右，因此所有人都應(yīng)該抱著“十年磨一劍”的心態(tài)去參與。