在做掃描電子顯微鏡（SEM）測(cè)試時(shí)，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對(duì)sem測(cè)試不太了解，針對(duì)此，科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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掃描電鏡(SEM)是一種多功能的工具，在大部分時(shí)候，無(wú)需什么樣品制備，即可提供各種樣品的納米級(jí)信息。而在某些情況下，為了獲得更好的掃描電鏡圖像，掃描電鏡有必要結(jié)合噴金儀(離子濺射儀)使用。

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掃描電鏡噴金的意義

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掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類型的樣本進(jìn)行圖像處理，陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。

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掃描電鏡需要濺射噴金的樣品

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使用掃描電鏡噴金前需要噴金的diyi類樣品是電子束敏感樣品。這類樣品主要是生物樣品，但也可能是其他種類，例如塑料材料。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是由電子束敏感的材料制成，那么，這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用一種非電子束敏感材料制成的表面鍍層就可以起到保護(hù)層作用，防止此類損傷。

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掃描電鏡另一類經(jīng)常需要濺射噴金的是非導(dǎo)電材料。由于它們的非導(dǎo)電性，其表面帶有“電子陷阱”的作用。這種表面上的電子積累被稱為“充電”，為了消除充電效應(yīng)，一種常見的解決該問(wèn)題的的方法是降低樣品腔的真空度。這樣可以在樣品表面附近引入帶有正電荷的分子。它們與充電電子相互中和，從而消除充電效應(yīng)。這已經(jīng)被證明是一種行之有效的方法。然而，真空室中引入的空氣分子會(huì)干擾電子束，影響圖像質(zhì)量。因此，為了追求高質(zhì)量的掃描電鏡噴金圖像，則建議選擇使用磁射噴金;鍍層充當(dāng)一個(gè)導(dǎo)電通道，使充電電子可以從材料中轉(zhuǎn)移走。

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在某些情況下，濺射噴金的樣品制備技術(shù)可用于提高圖像的質(zhì)量和分辨率。由于其優(yōu)良的高導(dǎo)電性，在掃描電鏡成像時(shí)，濺射材料可以增加信噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

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掃描電鏡濺射噴金的缺點(diǎn)

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由于操作簡(jiǎn)單方便，在使用濺射噴金時(shí)，幾乎沒(méi)有什么顧慮。只是在開始時(shí)，用戶需要摸索Z佳參數(shù)以獲得Z佳噴金效果。另外，濺射噴金有一個(gè)更重要的缺點(diǎn)：噴金后表面不再是原始材料，元素的襯度信息會(huì)發(fā)生丟失。

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在某些極端情況下，它可能會(huì)導(dǎo)致表面形貌失真或呈現(xiàn)樣品的虛假成分信息。然而，在大多數(shù)情況下，只要選擇合理的噴金參數(shù)，操作者既能夠獲得高質(zhì)量的成像，又不會(huì)損失樣品的原始信息。

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