在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，好多同學對能譜EDS不太了解，針對此，科學指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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能譜EDS的采樣深度大約為1 μm，可對試樣微區(qū)內(nèi)Be~U范圍內(nèi)的元素進行分析。根據(jù)掃描方式的不同可分為點掃、線掃和面掃。點掃和線掃都是對樣品的某一位置進行微區(qū)元素分析，兩者區(qū)別是掃描能譜的面積大小不一。點掃可以給出掃描元素的相對含量，測試準確性較高，常用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析。面掃是對樣品某一區(qū)域的元素分布進行觀察。

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圖1對樣品的某一位置進行能譜點掃得到的元素圖

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表1樣品的相對元素含量

Element

Weight %

Atomic %

Error %

C K

48.96

54.94

5.15

N K

27.91

26.85

19.29

O K

21.35

17.99

12.55

AgL

1.78

0.22

20.03

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EDS 點分析是將電子束固定于樣品中某一點上，進行定性或者定量的分析。如圖1所示是能譜點掃給出的峰型圖，每一種元素在圖中會出現(xiàn)一種峰，由此可以看出樣品中所含有的元素，同時，也會相對應(yīng)的給出如表1所示的元素相對含量表，表中數(shù)據(jù)展示了相對質(zhì)量分數(shù)和相對原子分數(shù)及誤差，誤差越大表示元素的相對含量可信度越低。

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圖2對樣品進行線掃的結(jié)果圖

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EDS 線掃描分析是電子束沿一條線對樣品進行掃描，能得到元素含量變化的線分布曲線。結(jié)合樣品形貌像對照分析，能直觀獲得元素在不同區(qū)域的分布情況。圖2可以看出，元素含量的差異與形貌結(jié)合可以分析樣品結(jié)構(gòu)上的差異。

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圖3對樣品進行面掃的結(jié)果圖

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EDS 面掃描分析是電子束在樣品表面掃描，試樣表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表現(xiàn)出來，常用來做定性分析。亮度越高，元素含量越高，結(jié)合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。從圖1-11中可以看出元素分布的差異，結(jié)合形貌圖對樣品進行定性分析。

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