干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員。所謂干式真空泵，在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵。

干式真空泵在抽氣流道內(nèi)無(wú)任何液態(tài)工作介質(zhì)或密封介質(zhì)，從根本上解決了油封式真空泵引發(fā)的各種問(wèn)題。

干式螺桿真空泵出現(xiàn)于上世紀(jì)90年代初，由于它具有抽速范圍寬廣、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、泵腔內(nèi)無(wú)摩擦元件、能耗低、無(wú)廢液排放以及運(yùn)行成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而在半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)、化工、制藥、石化、空間模擬、低壓風(fēng)洞等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

工作原理及其特點(diǎn)

干式螺桿真空泵是由一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)逆向旋轉(zhuǎn)的螺桿，在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙，沒(méi)有任何金屬與金屬之間的接觸。

于是螺桿在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中就將被抽氣體從進(jìn)氣口吸入并排出到排氣口。

干式螺桿真空泵按照其中螺桿類型劃分可分為等螺距和變螺距兩類，而變螺距中又分為螺桿二段螺距大小不等和螺桿螺距連續(xù)變化兩種。

螺桿式真空泵與羅茨型、爪式真空泵比較

·氣路比較

·抽速特性比較

干式螺桿真空泵的特點(diǎn)

干式螺桿真空泵零部件少，沒(méi)有易損件，因此它運(yùn)轉(zhuǎn)可靠且壽命長(zhǎng)，操作維護(hù)方便；

由于采用變螺距結(jié)構(gòu)，比等螺距螺桿可節(jié)省30%能耗，排氣溫度較低；

干式螺桿真空泵沒(méi)有不平衡的慣性力，機(jī)器可平穩(wěn)地高速運(yùn)行，噪聲低；

具有強(qiáng)制輸氣的特點(diǎn)，在寬廣的壓力范圍內(nèi)能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響；

由于干式螺桿真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體，微小顆粒不容易堆積，泵腔內(nèi)的剩余物也容易被清除；

材料配置及特殊涂層

螺桿真空泵的涂層

由于干式真空泵極大多數(shù)是用于抽除腐蝕性或危險(xiǎn)性氣體，為了防止泵腔和螺桿被腐蝕或生銹并延長(zhǎng)泵的使用壽命，根據(jù)不同的應(yīng)用可選擇下列不同的涂層：

1.PTFE (聚四氟乙烯)涂層：耐化學(xué)性能好，但涂層壽命較短，熔點(diǎn)低于300℃且耐磨性較差。

2.NIFA涂層：對(duì)所有的化學(xué)物質(zhì)均具有良好的耐腐蝕性，耐機(jī)械劃傷的性能好；

3.NIFLON涂層：良好的耐磨性，對(duì)基材具有良好的結(jié)合力，對(duì)極大多數(shù)化學(xué)物質(zhì)具有良好的耐蝕性，耐機(jī)械劃傷。

性能參數(shù)

下述是7種不同規(guī)格型號(hào)的變螺距螺桿真空泵的技術(shù)參數(shù)（點(diǎn)擊圖片放大）。

使用注意事項(xiàng)

螺桿真空泵背壓：螺桿真空泵通常的排氣壓力是大氣壓，在配用電機(jī)功率不變的情況下最大允許背壓到0.3barg。

如果螺桿真空泵在高背壓下運(yùn)行，會(huì)造成抽速下降、極限真空變差、排氣溫度過(guò)高等問(wèn)題。

進(jìn)氣溫度：螺桿真空泵進(jìn)氣溫度15℃～60℃，在此溫度范圍內(nèi)泵可連續(xù)長(zhǎng)期工作；進(jìn)氣溫度超出此范圍則需采取必要措施。

冷卻水溫度：冷卻水是在冷卻水溫度為20℃下的流量，冷卻水最高的允許溫度為32℃，但必須適當(dāng)加大冷卻水流量。

處理液體和固體的能力：螺桿真空泵的被抽氣體可以?shī)A帶一定量的液體和微小顆粒。

應(yīng)用行業(yè)

1.低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制工藝；

2.半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

3.除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝， 不希望微?；烊氡糜椭校?而希望微粒排出泵外， 則使用干式螺桿真空泵；

4.化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等， 防止有機(jī)溶劑造成污染；

5.用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。

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