在等離子除膠機(jī)的增強(qiáng)刻蝕中，當(dāng)高能顆粒撞擊表面時(shí)，表面會(huì)形成缺陷、位錯(cuò)或懸浮。這些缺陷提高了表面的化學(xué)反應(yīng)刻蝕速率，使得這種等離子除膠機(jī)的刻蝕過程具有選擇性和方向性。
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?這些等離子除膠機(jī)在清洗過程中，碳?xì)浠衔锱c襯底之間的鍵合被削弱，所獲得的能量使這些有(機(jī))復(fù)合物與襯底分離。有(機(jī))化合物分子基團(tuán)一旦脫離，就會(huì)被惰性氣體帶走。離子束照射、中性粒子流、帶電粒子轟擊為結(jié)合鍵的斷裂提供能量。這些能量首先被碳?xì)浠衔镂眨缓笤诟鞣N形式的二次過程中被消耗掉。正是這些形式的二次過程實(shí)現(xiàn)了表面清潔的效果。
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等離子體中有大量的紫外線輻射。能量被聚合物吸收后，產(chǎn)生化學(xué)性質(zhì)非?；钴S的自由基，容易與等離子體中的氣體發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生揮發(fā)性氣體。快離子與中性微粒碰撞產(chǎn)生的中性自由基在等離子除膠機(jī)中不斷轟擊試樣表面，在中性粒子間進(jìn)行電荷交換和能量轉(zhuǎn)移，并在等離子脫膠機(jī)上進(jìn)行。運(yùn)動(dòng)動(dòng)能和振動(dòng)動(dòng)能以溫和的方式加熱表面，解離和激發(fā)狀態(tài)產(chǎn)生的自由基以平動(dòng)或振動(dòng)的方式傳熱。若能量超過閾值，則可引起濺射，并伴有自由基團(tuán)。等離子體中的自由基是去除碳?xì)浠衔锏囊粋€(gè)重要因素，它類似于機(jī)械方法。