SEM測試樣品減薄及表面復(fù)型
在做掃描電子顯微鏡(SEM)測試時,科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,好多同學(xué)對SEM測試不太了解,針對此,科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;
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樣品減薄技術(shù)
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復(fù)型技術(shù)只能對樣品表面性貌進行復(fù)制,不能揭示晶體內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)信息,受復(fù)型材料本身尺寸的限制,電鏡的高分辨率本領(lǐng)不能得到充分發(fā)揮,萃取復(fù)型雖然能對萃取物相作結(jié)構(gòu)分析,但對基體組織仍是表面性貌的復(fù)制。在這種情況下,樣品減薄技術(shù)具有許多特點,特別是金屬薄膜樣品: 可以最有效地發(fā)揮電鏡的高分辨率本領(lǐng); 能夠觀察金屬及其合金的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和晶體缺陷,并能對同一微區(qū)進行衍襯成像及電子衍射研究,把性貌信息于結(jié)構(gòu)信息聯(lián)系起來; 能夠進行動態(tài)觀察,研究在變溫情況下相變的生核長大過程,以及位錯等晶體缺陷在引力下的運動與交互作用。
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表面復(fù)型技術(shù)
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所謂復(fù)型技術(shù)就是把金相樣品表面經(jīng)浸蝕后產(chǎn)生的顯微組織浮雕復(fù)制到一種很薄的膜上,然后把復(fù)制膜(叫做“復(fù)型”)放到透射電鏡中去觀察分析,這樣才使透射電鏡應(yīng)用于顯示金屬材料的顯微組織有了實際的可能。 用于制備復(fù)型的材料必須滿足以下特點: 本身必須是“無結(jié)構(gòu)”的(或“非晶體”的),也就是說,為了不干擾對復(fù)制表面形貌的觀察,要求復(fù)型材料即使在高倍(如十萬倍)成像時,也不顯示其本身的任何結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)。 必須對電子束足夠透明(物質(zhì)原子序數(shù)低); 必須具有足夠的強度和剛度,在復(fù)制過程中不致破裂或畸變; 必須具有良好的導(dǎo)電性,耐電子束轟擊; 最好是分子尺寸較小的物質(zhì)---分辨率較高。
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