挑戰(zhàn)物理極限、延續(xù)摩爾定律,臺積電 1nm 以下工藝取得重大突破
前不久,IBM 發(fā)表了 2nm 制程芯片,并表示是世界首創(chuàng)。作為行業(yè)老大的臺積電不甘示弱,日前,臺積電攜手臺灣大學、美國麻省理工學院(MIT),在 1nm 以下工藝取得突破性進展,相關研究在 Nature 期刊公開發(fā)表。

目前最先進的半導體工藝已達到 5nm,蘋果的 A14 Bionic、高通的驍龍 888 都采用這一工藝生產。而臺積電 3nm 預計在 2021 下半年年進入風險試產階段,2022 年下半年量產。
在這之前,芯片工藝已數(shù)次突破極限。曾經很長一段時間,7nm 被認為是基于硅芯片的物理極限,摩爾定律遭遇挑戰(zhàn)。一旦晶體管小于 7nm,它們在物理結構上會非常集中,以至于產生量子隧穿效應,漏電將變得非常嚴重。不過臺積電和三星還是各顯神通,用極紫外(EUV)工藝推進到 5nm FinFET。
隨著 3nm 工藝的臨近,人類再一次逼近硅基半導體的極限,此前臺積電有信心將工藝推進到 2nm 甚至 1nm。不過相關研究還是停留在紙面上,沒有任何實質性進展。如果不能解決相關技術難題,3nm 工藝很有可能是未來半導體芯片的極限了。

臺積電的這項研究發(fā)現(xiàn):二維材料結合半金屬鉍能達到極低的電阻,接近量子極限,可以進一步縮小器件尺寸并擴展摩爾定律,有助于實現(xiàn)半導體 1nm 以下的艱巨挑戰(zhàn)。
目前硅基半導體主流制程,在工藝達到 3nm 厚,芯片單位面積能容納的晶體管,已逼近硅的物理極限,芯片效能已無法逐年提升。一直以來,科學界對二維材料寄予厚望,卻苦于無法解決二維材料高電阻、及低電流等相關難題,以至于新興材料替代硅基材料,始終停留在理論階段。
此次由臺積電與臺大、麻省理工學院共同發(fā)表的研究成果,首先由麻省理工團隊發(fā)現(xiàn)在二維材料上搭配半金屬鉍(Bi)的電極,能大幅降低電阻并提高傳輸電流。隨后臺積電技術研究部門將鉍(Bi)沉積制程進行優(yōu)化,臺大團隊并運用氦離子束微影系統(tǒng)將元件通道成功縮小至 nm 尺寸,最終取得了這項突破性的研究成果。
