書籍：《炬豐科技-半導體工藝》

文章：微型傳感器的微加工工藝

編號：JFKJ-21-176

作者：炬豐科技

摘要??

? 微機電系統(tǒng)是硅技術的產物。它們是芯片大小的系統(tǒng)，有能力影響周圍的環(huán)境和用新穎而富有戲劇性的方式向外界傳達他們所知道的東西。?他們可以很便宜地制作。?1999年秋季，傳感器系統(tǒng)中心在德克薩斯理工大學將利用人們對微傳感器和微分析系統(tǒng)的研究主要集中在微分析系統(tǒng)的設計、制造和測試基于晶片的緊湊微分析系統(tǒng)。在SSC，正在為此目的開發(fā)微加工工藝。氧化、光刻、PCD、CVD、蝕刻都繼承自半導體加工并使用位于馬多克斯實驗室。?焊接工藝是一種新型的焊接工藝，并具有量身定制的陽極焊接系統(tǒng)自建。?硅/硅、硅/玻璃和玻璃/玻璃晶圓對之間的鍵合可以完成使用這些工具。?通道由硅和玻璃基板制成。?成功制作了大塊微機械加速度計。?更復雜,正在利用這些過程開發(fā)功能性微系統(tǒng)。本文對這些工藝步驟進行了總結，并進行了理論闡述并對實際制作實例和實驗結果進行了優(yōu)化這些過程的步驟。 ?

介紹 ?

? 本論文涵蓋了用于構建微器件的微細加工步驟包括理論，實驗工作和結果。微加工是一項正在發(fā)展的技術，然而，大多數(shù)工藝步驟用于微傳感器的制造繼承自半導體加工。?氧化，光刻就是兩個例子。?一些相對較新的工藝，如晶圓鍵合也正在為此目的發(fā)展。?本文從理論描述開始這些過程。?然后通過實例說明了實際操作。?一個復雜的并介紹了所有這些過程步驟的項目集成。?最后,實驗研究結果，以優(yōu)化這些工藝步驟。

為什么微加工?????略

微加工概論???????略

微加工的應用與前景????略

.......