書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：LED的發(fā)光特性

編號(hào)：JFKJ-21-309

作者：炬豐科技

摘 要

? 為了研究圖形化藍(lán)寶石襯底的 結(jié) 構(gòu) 和 形 貌 對 ＧａＮ 基 發(fā) 光 二 極 管（ＬＥＤ）光 學(xué) 性 能 的 影 響 ，對 ＰＳＳ的制備工藝和參數(shù)進(jìn)行了調(diào)控 ，從而形成具有不同填充因子的蒙古包形 ＰＳＳ（ＨＰＳＳ） 和 金 字 塔 形 ＰＳＳ（ＴＰＳＳ）兩 種 襯 底 ，用于生長和制備藍(lán)光 ＬＥＤ 芯 片 。 通 過 對 ＴＰＳＳ－ＬＥＤ 的 光 學(xué) 性 能測試和分析得到 ，隨 著 ＰＳＳ填充因子的增大 ，ＬＥＤ 的光輸出功率也增大。

關(guān) 鍵 詞 ：圖形化藍(lán)寶石襯底（ＰＳＳ）；填 充 因 子 ；發(fā) 光 二 極 管（ＬＥＤ）；ＧａＮ

實(shí)驗(yàn)

???實(shí)驗(yàn)中，使用ｃ面藍(lán)寶石襯底，其直徑為６０ｃｍ，厚為３４０ｍｍ。采用傳統(tǒng)的光刻、濕法腐蝕和電感耦 合等離子體刻蝕（ＩＣＰ）方法制備 ＰＳＳ，通過改變光 刻和ＩＣＰ刻蝕的工藝參數(shù)制備出不同形貌的 ＨＰＳＳ 和 ＴＰＳＳ襯底，并擁有不同填充因子。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果和討論

??從圖１可以看出，ＨＰＳＳ和 ＴＰＳＳ兩種襯底的直徑、間隔以及深度基本 相 同，依 次 為２．５、０．５和１．６ μｍ，形貌呈周期性排列。

結(jié) 論

??通過對 ＰＳＳ的 制 備 工 藝 和 參 數(shù) 的 調(diào) 控，形 成 不 同Ｆ 和 ＨＰＳＳ和 ＴＰＳＳ，并 利 用 不 同 的 ＰＳＳ制 備 相 同結(jié)構(gòu)的 ＬＥＤ器件。