關于氦質譜檢漏儀的應用大家都有所了解，那么關于他的發(fā)展史小編覺得還是有許多朋友是不了解的，那么今天就讓小編跟大家科普一下吧。

從20世紀60年代開始，氦質譜檢漏儀被廣泛應用于航天、電子、原子能、制冷、電力、化工、汽車及食品等各個行業(yè)。特別是原子能、航天技術的發(fā)展，使氦質譜檢漏儀得到了飛速的發(fā)展。

1956年，Schumacher開始研究背壓檢漏，并將它應用到密閉電子器件的檢漏中去。1973年。Howl先生對背壓檢漏方法進行了詳盡的數學分析，他推導的漏率計算公式就是現在使用的背壓檢漏用的經典公式。

在國內，從20世紀60年代末開始，蘭州物理所開展了大容器檢漏方法研究，將擬質譜檢漏技術應用于衛(wèi)星環(huán)模設備、鐵路運輸液氫槽車、運載火箭氫氧液體燃料箱等大型容器的檢漏中。1996年，北京衛(wèi)星制造廠閏治平等人采用氦質譜的非真空收集法對衛(wèi)星整體進行檢漏。近年來，曹輝玲等人將前級泵出口采樣法應用于電力工業(yè)及其他大型真空設備的檢漏中，采用特制的油污過濾裝置對氦具有和積累作用，提高了檢漏靈敏度?，F在，氦質譜檢漏儀己成為迄今靈敏、有效、方便也是應用廣的檢漏手段。

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