設(shè)備名稱：高真空氮?dú)夂嫦洌?0Pa晶圓芯片高溫真空烘箱）

設(shè)備型號：HE-WD600-10Pa

適用范圍：

高真空氮?dú)夂嫦溥m用于各行業(yè)如光電、硅晶片、電子芯片、電池、線路板、電子電器、制藥、化工、塑膠、硅膠等真空脫泡處理及真空狀態(tài)下烘烤，可充惰性氣體，生產(chǎn)車間、實(shí)驗(yàn)室及科研單位測試之要求設(shè)備。

箱體規(guī)格：

1、內(nèi)尺寸：600（寬）×600（深）×600（高）mm；

2、外尺寸約：900（寬）×830（深）×1520（高）mm；以實(shí)物為準(zhǔn)；

3、箱體結(jié)構(gòu)：為一體式，真空泵置于機(jī)臺下部；

4、隔層：內(nèi)分二層，不銹鋼網(wǎng)板二片，可活動抽出；

5、面板安裝：控制面板安裝于機(jī)臺下方；

6、開門方式：單由右至左開啟，門上帶可視窗W300*H350mm；

7、內(nèi)材質(zhì)為：不銹鋼板，厚5.0mm；內(nèi)箱加強(qiáng)處理，抽真空不變形；

8、外材質(zhì)為：冷軋鋼板,厚1.2mm,粉體烤漆處理(米白色)；

9、保溫材質(zhì)為：耐高溫巖棉，保溫效果好；

10、安裝帶剎車活動腳輪，可任意推動；

控溫系統(tǒng)：

1、溫度控制器為數(shù)顯儀表，單點(diǎn)式控溫，可自動演算，PV/SV同時顯示，按鍵設(shè)定；

2、定時功能：采用歐姆龍計時器，時間結(jié)束后停止加熱及抽真空功能，同時報警提示

3、感溫線（K）型；

4、輸出為3-32V；

5、電流控制器為：PID+SSR固態(tài)繼電器；

6、加熱方式：采用三面加熱的熱輻射的方式；（左、右、底三面）

7、發(fā)熱材料為：不銹鋼高溫加熱管；

8、溫度范圍：常溫+30℃～250℃（之間可調(diào)可控）；

9、控制精度：±0.5℃;

10、顯示精度：0.1℃；??

11、箱內(nèi)溫度偏差：±5.0℃.(無真空下空載測試)

真空系統(tǒng)：

1、門口密封方式：機(jī)臺門口采用高密度性的硅膠密封條密封；

2、真空顯示方式：采用真空計顯示真空度；

3、真空控制方式為：自動控制，抽真空達(dá)到設(shè)定值時停止真空泵工作，低于上限值時自動補(bǔ)真空，以此循環(huán)工作保持真空恒定狀態(tài)；

4、泄壓方式：試驗(yàn)結(jié)束后手動啟動泄壓功能泄壓，采用電磁閥控制泄壓；

5、機(jī)臺真空度范圍：≤1.0×105～1.0×101? (Pa)，【即10pa】

6、真空保壓泄漏率：0.01Pa/L每秒；

7、真空管：采用不銹鋼真空波紋管；

8、真空感應(yīng)器：采用KF16真空電阻規(guī)管；

9、真空設(shè)定方式：根據(jù)需要真空度可自由設(shè)定，如真空度為（100Pa）儀表設(shè)定(1.0 E? 2)，如真空度為（10Pa）儀表設(shè)定(1.0 E? 1)等等, 采用上、下限控制抽真空及停止抽真空；

10、真空控制閥：采用KF40接頭高真空帶充氣壓差閥；

11、真空泵配置：采用雙級直連式油泵.

12、真空度顯示方式：采用電阻真空計顯示真度值,顯示方式為科學(xué)計數(shù)法方式

充氮?dú)庋b置：

1、調(diào)壓閥：控制氮?dú)鈮毫ΓＪ褂孟碌獨(dú)鈮毫φ{(diào)為2-3公斤左右；

2、流量計：控制氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)的大小，量程為10L/min-60Lmin；

3、充氮管道：氮?dú)夤艿肋M(jìn)入到箱內(nèi)正后面，外配2米長8mm氣管；

4、充氮?dú)饪冢阂粋€氮?dú)饪壮淙氲较鋬?nèi)；

5、氮?dú)庠矗菏褂梅焦咎峁┑獨(dú)庠?

電源功率：

1、電壓：AC 380V/50Hz三相五線制

2、電流：14A???????

3、功率：9.0KW

保護(hù)系統(tǒng)：? ?

1、超溫保護(hù)系統(tǒng)：溫度失控時，超過超溫保護(hù)設(shè)定溫度時，自動停止加熱供電，從而保護(hù)產(chǎn)品及機(jī)器的安全。

2、電路保護(hù)系統(tǒng)：接地保護(hù)、快遞保險、缺相保護(hù)、過載保護(hù)、斷路開關(guān)等；