中微公司

中微公司的主要產(chǎn)品為刻蝕機和MOCVD設備，有1300多臺刻蝕機和MOCVD設備的反應臺已在40多條亞洲、歐洲和國內(nèi)先進生產(chǎn)線量產(chǎn)。此外，中微公司的5納米刻蝕設備已獲得行業(yè)領先客戶的批量訂單。在3D NAND芯片制造環(huán)節(jié)，其電容性等離子體刻蝕設備可應用于64層的量產(chǎn)。

北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)在年報中表示，公司12吋硅刻蝕機、金屬PVD、立式氧化/退火爐、濕法清洗機等多款高端半導體設備相繼進入量產(chǎn)階段；8吋硅刻蝕機、金屬刻蝕機、深槽刻蝕機、金屬PVD、立式氧化/退火爐、濕法清洗機等設備頻頻獲得客戶重復采購訂單；SiC刻蝕、GaN刻蝕、介質刻蝕、PECVD、PVD以及濕法清洗機等成為第三代半導體行業(yè)主流配置機臺。

華林科納

???華林科納2020年技術案例突破有雙八寸全自動清洗設備，12寸片盒全自動清洗設備，種植體全自動腐蝕設備，在線電子冷熱器，Marangoni干燥設備等。預計在2021年內(nèi)總銷售額可達10 億人民幣的規(guī)模,工廠直接人員 150-200人以上， 已具備基本制造能力,并逐步建置 ，濕制程高階設備制造，成立研究院，作為高階制程研究發(fā)展平臺與人才導入，教育訓練平臺，預計在2021年內(nèi)總銷售額可 達30億人民幣的規(guī)模。

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晶盛機電

晶盛機電表示，全年新簽訂光伏設備訂單超過37億元，向中環(huán)股份、晶科等當前國內(nèi)主流的光伏廠商供應晶體生長及加工設備；在半導體領域，單晶爐、拋光機、研磨機等設備陸續(xù)進入國內(nèi)主流半導體材料廠商；成功研制出新一代12英寸半導體單晶爐、8英寸硅外延爐、8-12英寸硅片用精密雙面研磨機、6-8英寸硅片用拋光機等。

芯源微

芯源微的前道涂膠顯影設備于上海華力工藝驗證并確認收入；前道Spin Scrubber清洗機設備已在中芯國際、上海華力等多個客戶處通過工藝驗證，截至目前已獲得國內(nèi)多家晶圓廠商的重復訂單。集成電路制造后道先進封裝設備目前已在國內(nèi)多家封裝大廠Fan-out產(chǎn)線應用等。

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