一般傳統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓干燥裝置，如離心式干燥機(jī)或異丙醇(IPA)蒸氣干燥機(jī)，除了平衡問(wèn)題易造成破損外，且又因定速旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生靜電，而吸附塵粒降低潔凈度造成二次污染；另異丙醇(IPA)蒸氣干燥機(jī)則需將易燃的異丙醇(IPA)加熱產(chǎn)生蒸氣，具有潛在的高度危險(xiǎn)。

馬蘭戈尼提供一種無(wú)污染且能在短時(shí)間內(nèi)干燥半導(dǎo)體晶圓的方法，其在干燥過(guò)程中因異丙醇(IPA)不需加熱且氣化量極少，故不致造成危險(xiǎn)，相對(duì)具有較佳的安全性，并可確保良好、安全的干燥效果。

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馬蘭格尼方式：

該干燥方式利用了硅片表面張力的梯度變化原理， 達(dá)到使晶圓干燥的目的。 先用流動(dòng)的去離子水在晶圓外表面產(chǎn)生很薄的一層水膜，之后再通入大量的異丙醇?xì)怏w把晶圓上的水層去掉，從而使硅片干燥。這種工藝重中之重是要控制去離子水層和異丙醇?xì)怏w層在硅片表面移動(dòng)的快慢。工作原理如圖所示。 目前半導(dǎo)體工廠里常用的移動(dòng)速度是 1－－1．5mm／s，現(xiàn)在還有一種好的方法是增加去離子水兆省噴頭并且控制移動(dòng)速度在0．3－－2．5mm／s．這種方式一般用于高端的單片腐蝕清洗上。

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