氦質(zhì)譜檢漏儀檢測開始時的故障

1.檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

檢查燈絲是否啟動。假如燈絲沒有啟動或者燈絲斷了，按下檢漏鍵就不會反。

2.檢漏鍵無效(指示燈不亮)

I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀后插座。I/O當(dāng)氦質(zhì)譜檢漏入儀器后插座，此時將接受氦質(zhì)譜檢漏儀I/O口輸入信號，不接受控制器信號，檢漏鍵無效。

氦質(zhì)譜檢漏儀在自動校準(zhǔn)結(jié)束時發(fā)生故障

自動校準(zhǔn)失敗(燈絲亮)，紅色校正燈亮。首先檢查自動校準(zhǔn)設(shè)置，開關(guān)和關(guān)閉S1是否處在OFF位置，設(shè)置的泄漏率值是否與規(guī)格的泄漏值一致。溫度傳感器是否連接良好；二是檢查敏感性，清潔質(zhì)譜室（如果外部校正泄漏檢測表明值與實(shí)際值一致，也可使用氦質(zhì)譜檢漏儀）。

氦質(zhì)譜檢漏儀

1.不要轉(zhuǎn)換為詳細(xì)的檢漏口壓力法×10-4MPa：檢查粗檢顯示燈是否亮起，如果亮起，則表明氦質(zhì)譜檢漏儀處于粗檢方式。然后按下粗檢開關(guān)，將其轉(zhuǎn)換為自動轉(zhuǎn)換。

2.敏感度低。檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染，清洗離子源。

3.氦本底太高。檢查機(jī)械泵油是否無效(泵油長期使用會吸收更多的氦氣，造成氦氣污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有泄漏，真空管道是否受到污染，三極壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否受到污染。此外，我們還應(yīng)注意環(huán)境污染問題。如果有多個氦質(zhì)譜檢漏儀，并且對氦的需求量很大。當(dāng)通風(fēng)不良時，氦擴(kuò)散緩慢，也會造成氦污染。解決方案是在泄漏檢測端口的排氣閥排氣口（一般為通風(fēng)）處安裝幾升氣罐，氣罐與低壓氦管連接。這樣，環(huán)境中的氦污染就大大減少了。

4.模具設(shè)計(jì)不科學(xué)，導(dǎo)致泄漏檢測失敗。初步檢查工作正常，工作幾次后，速度大大降低，泄漏檢測；加上死亡阻塞氦質(zhì)譜檢漏儀不泄漏，工作正常。這是由于工具設(shè)計(jì)不科學(xué)，如工具結(jié)構(gòu)不科學(xué)，內(nèi)表面過于粗糙，導(dǎo)致氦殘留過多；或密封設(shè)計(jì)不科學(xué)，導(dǎo)致密封不可靠（因?yàn)楣ぞ咴O(shè)計(jì)師不熟悉專業(yè)真空設(shè)計(jì)）。

5.不科學(xué)的操作會導(dǎo)致故障。例如，在工作中，有一個很大的泄漏工件，因?yàn)椴僮鲉T判斷錯誤，不覺得工件泄漏，并檢查工具的連接或氦質(zhì)譜泄漏檢測器，多次檢查工件泄漏。這樣，你就會發(fā)現(xiàn)所有的工作部件都不是。原因是大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，導(dǎo)致質(zhì)譜室污染。解決方案是清理質(zhì)譜室，反復(fù)呼吸和排氣。

那么以上就是關(guān)于氦質(zhì)譜檢漏儀故障維護(hù)的完整知識。小編希望能幫助你~

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