水蒸氣捕集是Dale Meissner在20世紀70年代提出的一個概念，用來縮短抽真空的時間，降低真空度以增強真空鍍膜涂層。在抽真空系統(tǒng)中，既可以使用泵組從真空腔室里抽走氣體分子，也可以通過超低溫表面將水蒸氣分子冷凝捕集。

基礎(chǔ)原理

當一個腔體從大氣壓開始抽真空，在真空度10^-1 ~ ~10^-5Pa時，腔體中65% ~ 95%的殘留氣體是水蒸氣。當一個真空腔室開門，直接暴露在空氣中，腔室的內(nèi)部表面將被一層又一層的水分子所覆蓋。水分子層的厚度將取決于空氣的相對濕度、暴露時間等因素。當真空腔室開始抽真空、真空度逐步降低時，水蒸氣從真空腔室和工件表面釋放出來，然后必須使用真空泵抽除或低溫冷凝捕集，來進一步降低真空室內(nèi)的真空度。

類似于Vaporcold和Polycold這樣的水汽捕集泵(低溫冷阱)，使用低溫制冷劑直接冷卻位于真空室內(nèi)的不銹鋼盤管或紫銅盤管。這種盤管捕捉水蒸氣的能力，主要是基于真空腔室里低溫盤管的表面積和數(shù)量。當水蒸氣從真空腔室和工件表面釋放出來時，必須使用真空泵抽除或低溫冷凝捕集，以進一步降低真空腔體中的真空度。增加真空腔室內(nèi)低溫盤管的面積或數(shù)量，捕集水汽分子的能力就會增加。

分子泵或擴散泵 Vs. 水汽捕集泵

當一個真空腔室達到真空度1Pa后，高真空泵開啟，開始有效地降低真空度。在分子流中，這些氣體分子必須碰撞到分子泵或擴散泵的泵口，才能被抽走。這需要較長的時間，因為泵的開口尺寸很小，而且大多數(shù)情況下，這些泵是安裝在管道上，而不是直接安裝在真空腔室上。因為流導(dǎo)的原因，這將導(dǎo)致高達50%的抽速損失。

比如：一臺50,000升/秒的高真空泵，效率降低50%，只能提供25,000升/秒的抽速。為了達到10萬升/秒，需要4個這樣的泵。但因為成本和空間的問題，這是不實際的。

VaporCold VPC-3500，Polycold PFC-1100HC或MaxCool 4000H，配合布置在真空腔室里長度40m、外徑16mm的盤管設(shè)計，可以產(chǎn)生超過100,000升/秒的抽速或或相當于4倍的高真空泵。與高真空泵的小尺寸入口相比，真空腔室里的盤管完全沒有口徑尺寸限制，直接冷凝捕集水汽分子，因而獲得超高的捕集效率。 相反，如果沒有VaporCold或Polycold，達到目標真空度的時間，將大大延長。

結(jié)論

在需要快速生產(chǎn)的真空系統(tǒng)里，VaporCold或Polycold是至關(guān)重要的，可加快捕集腔內(nèi)的水汽分子，降低真空基底壓力，提高真空鍍膜的質(zhì)量。使用適當規(guī)格的VaporCold或Polycold，加大紫銅或不銹鋼低溫盤管的表面積，可以顯著提高產(chǎn)量。

總之，VaporCold或Polycold，可以提高真空鍍膜設(shè)備的質(zhì)量和產(chǎn)量。

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