正性光刻膠主要是鄰重氮醌化合物。在曝光過程中，鄰重氮醌化合物吸收能量引起光化學分解作用，經(jīng)過較為復雜的反應過程，轉(zhuǎn)變?yōu)榭扇苡陲@影液的物質(zhì)，而未經(jīng)感光的光刻膠則不溶于這種顯影劑。因此曝光顯影后，所得圖像與掩膜相同，所以稱作正性光刻膠。

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為了改善光刻膠的成膜性和增加涂層的耐磨性，可以摻入線性酚醛樹脂、聚酚、聚碳酸酯或乙酸乙烯和順丁烯二酸酐的共聚物；或者將鄰重氮醌-5-磺酰氯和帶有羥基的樹脂進行縮合，而將感光性官能團引入合成樹脂的分子鏈上去，以酚醛樹脂為例，連接有鄰重氮萘醌結(jié)構(gòu)的酚醛樹脂在紫外光照射時可以發(fā)生光分解反應，放出氮氣，同時在分子結(jié)構(gòu)上經(jīng)過重排，產(chǎn)生環(huán)的收縮作用，從而形成相應化合物。

PermiNex 1000系列 ?負性光刻膠

SU-8 3050 負性光刻膠

SU-8 2002 2015 2050光刻膠

SU-8 3010 負性光刻膠

SU-8 3035 3025光刻膠

SU-8 3050 3035 3010負性光刻膠

SU-8 2000 永久性環(huán)氧負性光刻膠

SU-8系列 負性光刻膠

SU-8 2000系列 負性光刻膠

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SU-8 TF 6000系列 負性光刻膠

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