自1929年表面粗糙度微觀測(cè)試的定量標(biāo)準(zhǔn)出現(xiàn)，諸多國(guó)家的粗糙度檢測(cè)技術(shù)開(kāi)始了快速發(fā)展階段，我國(guó)是在1956年制定了最早的表面光潔度標(biāo)準(zhǔn)，后續(xù)數(shù)十年的發(fā)展，粗糙度測(cè)量技術(shù)的提升為精密和超精密加工技術(shù)行業(yè)帶來(lái)了很大的幫助，也為我國(guó)國(guó)民的生活品質(zhì)帶來(lái)了很大的提升。

針對(duì)表面粗糙度測(cè)量的設(shè)備主要可以分為兩類(lèi)，分別是接觸式以及光學(xué)非接觸式。

接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x：測(cè)頭采用電感式傳感器，當(dāng)驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)傳感器沿工件被測(cè)表面作勻速運(yùn)動(dòng)時(shí)，傳感器的測(cè)針隨工件表面的微觀起伏作上下運(yùn)動(dòng)，測(cè)針的運(yùn)動(dòng)經(jīng)過(guò)傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的變化，電信號(hào)的變化再經(jīng)過(guò)后期電路的處理和計(jì)算，得到工件表面粗糙度參數(shù)值。

光學(xué)非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x：測(cè)頭采用光學(xué)式傳感器，LED光源通過(guò)多針孔盤(pán)（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過(guò)MPD的針孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上，通過(guò)多針孔盤(pán)的操作在幾秒內(nèi)捕獲200到400個(gè)共焦圖像，之后系統(tǒng)從共焦圖像的堆棧重建高清的三維高度圖像。

兩類(lèi)設(shè)備各有優(yōu)劣，接觸式測(cè)量作為傳統(tǒng)的檢測(cè)方法，在目前的工業(yè)領(lǐng)域當(dāng)中應(yīng)用還是十分廣泛；光學(xué)檢測(cè)作為科技創(chuàng)新的結(jié)晶，具有更高的精度以及更快的效率，但是在耐用性以及穩(wěn)定性方面與傳統(tǒng)接觸式測(cè)量還有所差距。

由LVDT位移傳感器充當(dāng)測(cè)頭的接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x主要特點(diǎn)在于0.1μm的高精度以及強(qiáng)大的穩(wěn)定性，在溫度、磁場(chǎng)、壓力等各種因素的影響下能夠保障穩(wěn)定的測(cè)量效果；

由激光式位移傳感器充當(dāng)測(cè)頭的非接觸式粗糙度測(cè)量?jī)x能夠?qū)y(cè)量結(jié)果成像，測(cè)量精度能夠達(dá)到0.1μm，最快1秒成像。

和伍高精度LVDT位移傳感器的測(cè)量結(jié)果能夠符合 ISO4287（1994,2001），能夠測(cè)量 Ra、Rz 等，也能夠測(cè)量符合 ISO25178 標(biāo)準(zhǔn)的 Sa、Sz 等各類(lèi)的表面粗糙度。 由于通過(guò)多點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，因此可獲取更穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。涵蓋共 42 種參數(shù)。