低溫等離子催化氧化法：等離子體是物質(zhì)存在的除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度內(nèi)的電中性與高導(dǎo)電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結(jié)果，產(chǎn)生大量的強(qiáng)氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強(qiáng)的O3；有機(jī)物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子健斷裂而形成小碎片基團(tuán)或原子；O·、OH·、HO2、O3等與激發(fā)原子、有機(jī)物分子、基團(tuán)、自由基等反應(yīng)，最終使有機(jī)物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。

優(yōu)點(diǎn)：處理效率70%以上，廣泛適用性，適合于處理低濃度（〈1～1000ppm〉）、低毒低臭的有害氣體，彌補(bǔ)了其他技術(shù)無法處理的空白。以及操作簡(jiǎn)單。

缺點(diǎn)：?jiǎn)为?dú)的低溫等離子體技術(shù)在處理有害氣體時(shí)還是有其欠缺的地方，

如不能完全徹底地把有害氣體轉(zhuǎn)化為無害氣體，副產(chǎn)物較多；且在氧等離子體下產(chǎn)生大量的臭氧；能耗較高；脫除效率較低等。