干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備。

工作原理

螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉子的旋轉，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現在以其中一對齒來說明。

（1）吸氣過程

陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

（2）壓縮過程

轉子端面是排氣端面。在這里，陽轉子沿順時針方向旋轉，陰轉子沿逆時針方向旋轉。上方的轉子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

（3）排氣過程

螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。

1特征

（1）可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運轉可靠，壽命長。

（2）操作維護方便。

（3）動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩(wěn)地高速運行。

（4）適應性強。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點，在寬廣的壓力范圍內能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

（5）多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。

2應用

螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。在半導體工業(yè)中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。

在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

應用范圍極為廣泛。具體如下：

具體應用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

紡織、冶金等行業(yè) 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用干式真空泵， 具體應用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。

一類是以半導體行業(yè)為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業(yè)中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。

• 清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。

• 中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物。

• 惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。

另一類是以石化行業(yè)為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。在半導體工業(yè)中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。

在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

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