電子研磨廢水回用系統(tǒng)積極踐行環(huán)保節(jié)水理念
20世紀90年代以來,全球電子產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,而經(jīng)過多年的改革開放,我國的電子工業(yè)已逐漸成為“世界電子制造業(yè)的加工廠”。目前,國家正在大力發(fā)展晶圓廠,在晶圓棒和晶圓的制造過程中,在切割、研磨、劃線、減薄、化學研磨平整(CMP)等工序后的清洗過程中會產(chǎn)生研磨廢水。研磨廢水中含有少量的研磨膏、被研磨下來的微小顆粒和清潔劑,但其中的水質(zhì)相對較好,電導率和TOC含量較低,具有回收利用的價值。
電子研磨廢水回用的難點在于,廢水中的顆粒物非常微小,使用傳統(tǒng)的介質(zhì)過濾是沒有辦法去除的。現(xiàn)有技術(shù)一般采用混凝沉淀進行預處理,然后采用高分子有機物制成的超濾技術(shù),利用有機超濾膜孔徑小的特點,攔截研磨廢水中的微小顆粒,回收合格的產(chǎn)水。但是,由于研磨廢水中顆粒的尖銳性和有機超濾的機械強度不足,容易斷絲,過濾效果差。此外,有機超濾對進水中的SS和TOC的耐受性有限,對預處理要求嚴格,化學穩(wěn)定性有限,運行故障后膜性能恢復不理想,所以有機超濾的使用故障率高,更換頻繁。因此,如何有效解決處理研磨廢水過濾效果差的問題是人們關(guān)注的問題。
萊特萊德電子研磨廢水回用系統(tǒng)(www.feishuihuishou.com)工藝合理,運行持久,經(jīng)濟效益顯著,環(huán)境風險性能可控,整體布局高度集成、美觀。系統(tǒng)采用Neterfo極限分離和MVR蒸發(fā)的工藝,結(jié)合高效軟化和硬化系統(tǒng),降低了膜系統(tǒng)的結(jié)垢和污染風險,保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。Neterfo極限分離系統(tǒng)簡單的模塊化設(shè)計使其運行更加靈活,能夠?qū)崿F(xiàn)電子研磨廢水回用和近零排放處理。
技術(shù)的不斷創(chuàng)新增加了我國對電子設(shè)備的需求不斷增加,而電子研磨廢水回用系統(tǒng)符合我國當前的環(huán)保節(jié)水理念。
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