精密部件高速邊緣檢測(cè)，就選英國(guó)真尚有二維投影圖像測(cè)量?jī)x

近年來(lái)，半導(dǎo)體芯片行業(yè)經(jīng)歷了巨大的增長(zhǎng)，因?yàn)樵诟鞣N應(yīng)用中對(duì)集成電路和微處理器的需求不斷增加，如消費(fèi)電子、汽車和通信系統(tǒng)。隨著這些芯片的復(fù)雜性不斷增加，制造過(guò)程中的質(zhì)量控制和缺陷檢測(cè)的重要性也隨之增加，這其中邊緣檢測(cè)在確保半導(dǎo)體設(shè)備的可靠性和性能方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。不同的環(huán)節(jié)，制造商采用了不同的邊緣檢測(cè)方法，比如在晶圓制造過(guò)程中，主要采用先進(jìn)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（高分辨率相機(jī)和復(fù)雜的算法）來(lái)進(jìn)行檢測(cè)和分類晶圓邊緣的缺陷；在光刻過(guò)程中，則通過(guò)自動(dòng)掩模檢查系統(tǒng)用于檢查掩模圖案的缺陷；蝕刻過(guò)程中的邊緣檢查則是通過(guò)掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）來(lái)檢查蝕刻圖案并識(shí)別任何異常情況……通過(guò)所有這些邊緣檢測(cè)方案，制造商最終可以有效地保持質(zhì)量控制，并盡量減少其半導(dǎo)體設(shè)備的潛在缺陷。

對(duì)于精密工件的高速邊緣檢測(cè)，投影圖像法是最新技術(shù)之一，它利用圖像沿特定方向的投影來(lái)檢測(cè)邊緣。像英國(guó)真尚有ZM106系列邊緣傳感器，它就是采用投影圖像法，圖像沿特定方向被投影到一個(gè)一維信號(hào)上，信號(hào)上每一點(diǎn)的投影值代表沿原始圖像中相應(yīng)線路的像素值之和，投影輪廓可以被分析，以檢測(cè)原始圖像的邊緣。而ZM105.2D二維投影圖像測(cè)量?jī)x雖然同樣是基于投影圖像原理，但它的圖像則是沿通過(guò)接收透鏡投射到2D CMOS傳感器上，控制器再根據(jù)圖像陰影邊界(物體輪廓)的位置，計(jì)算出物體的邊緣。

與其他邊緣檢測(cè)方案相比，圖像投影法有幾大優(yōu)點(diǎn)。其一是它的計(jì)算效率高，只需要較少的內(nèi)存來(lái)存儲(chǔ)中間結(jié)果。其次，它可以有效地處理具有不規(guī)則形狀和噪聲的圖像。此外，它可以同時(shí)檢測(cè)不同方向的邊緣，使其適用于需要特定方向邊緣檢測(cè)的應(yīng)用。

除原理本身的優(yōu)點(diǎn)外，英國(guó)真尚有ZM105.2D二維投影圖像測(cè)量?jī)x還具備高速、高精度測(cè)量特質(zhì)，每秒可檢測(cè)130個(gè)工件，最小測(cè)量誤差僅為±1.5um。而且英國(guó)真尚有ZM105.2D特別適合于發(fā)射端和接收端距離要求比較遠(yuǎn)的應(yīng)用，例如其中的ZM105.2D-25x30型號(hào)，它發(fā)射端和接收端的標(biāo)準(zhǔn)間距為250mm，還支持根據(jù)客戶要求定制。

邊緣檢測(cè)只是英國(guó)真尚有ZM105.2D二維投影圖像測(cè)量?jī)x的其中一個(gè)應(yīng)用，它更廣泛的應(yīng)用是高速、在線、批量測(cè)量二維線性尺寸、直徑、角度、螺紋參數(shù)、零件形狀、跳動(dòng)等多個(gè)參數(shù)值，特別是形狀復(fù)雜的高精密工件，比如噴油器等等。

總而言之，投影圖像法是一種有用的數(shù)字圖像邊緣檢測(cè)技術(shù)。它利用圖像沿特定方向的投影來(lái)準(zhǔn)確和有效地檢測(cè)邊緣，對(duì)于投影圖像法來(lái)說(shuō)，投影的方向?qū)τ诖_定邊緣的方向和準(zhǔn)確地檢測(cè)它們至關(guān)重要。雖然它有局限性，但它的優(yōu)點(diǎn)也使它適合于許多需要進(jìn)行邊緣檢測(cè)的應(yīng)用。