皮米級周期計量 / 快速無損 / 形貌量測

Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導(dǎo)光學(xué)檢測系統(tǒng) 是一款專為晶圓級光波導(dǎo)樣品提供的專業(yè)光學(xué)檢測系統(tǒng)，采用先進的角分辨光譜技術(shù)，配合強大的 AI 算法以及可溯源的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，能夠快速、準(zhǔn)確獲取一維、二維光柵的衍射效率及其形貌參數(shù)，為用戶在衍射光柵的設(shè)計與加工過程中提供快速、無損的監(jiān)控手段，不斷提高產(chǎn)品生產(chǎn)良率。

典型應(yīng)用領(lǐng)域：

光柵衍射效率測量——衍射效率是評價光柵性能的核心指標(biāo)，需要系統(tǒng)具有同時測量角度和波長的能力。

光柵周期計量——周期作為衍射光波導(dǎo)的基本參數(shù)，影響著光在波導(dǎo)內(nèi)部正確的傳輸與衍射，可溯源的方法是周期計量中的關(guān)鍵所在，需要具有復(fù)現(xiàn)和量值傳遞作用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)作參考。

光柵形貌量測——高性能衍射光波導(dǎo)具有較為復(fù)雜的光柵形貌，對形貌無損快速的檢測是晶圓批量制程中的核心訴求，需要系統(tǒng)具備多維度光學(xué)信號抓取能力并支持人工智能算法高效分析。

光柵取向測量——光波導(dǎo)中不同區(qū)域光柵的取向差異對成像至關(guān)重要，需要系統(tǒng)支持旋轉(zhuǎn)角精確調(diào)節(jié)。

Metrondie-SRG 晶圓級衍射光波導(dǎo)光學(xué)檢測系統(tǒng) 在以上領(lǐng)域的應(yīng)用得益于如下幾個特點：?

1? 角分辨光譜技術(shù)：得益于 -70°~70° 的廣角量程與優(yōu)于 0.02° 的角度精度，可準(zhǔn)確捕捉 多級次 衍射強度隨波長和角度的精確分布；?

2? 晶圓級測量：采用高兼容性樣品臺，有效覆蓋 4~12 寸 晶圓的全面檢測需求。同時，結(jié)合智能化軟件，支持晶圓版圖輸入，實現(xiàn)了對衍射光波導(dǎo)晶圓的批量 mapping 檢測；?

3? 人工智能算法：引入在線優(yōu)化、深度學(xué)習(xí)和庫搜索等前沿算法，將物理模型與多維光譜信息緊密融合，可實現(xiàn) 海量模型 的構(gòu)建與優(yōu)化，實時獲取衍射光波導(dǎo)光柵的精確形貌參數(shù)；?

4? 高精度電動位移臺：選用高精度 四軸電動 位移臺，可實現(xiàn) X, Y, Z 軸 微米級 空間定位精度，平面取向 θ 角 弧秒級 角度定位精度，支持衍射光波導(dǎo)全方位自動檢測。