RBN150系列三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

產(chǎn)品特點(diǎn)

<< 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)

<< 抗蠕動(dòng)交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向

<< 百納米級(jí)定位精度

<< 納米級(jí)微動(dòng)步距

<< 高動(dòng)態(tài)性能

<< 結(jié)構(gòu)可接受定制

背景介紹

? RBN150系列是我們研發(fā)出的一款百納米級(jí)精度的三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，百納米級(jí)定位精度，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，應(yīng)用于微納加工、測試測量及光纖對(duì)準(zhǔn)等領(lǐng)域。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

采用非接觸式直線直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，非常適合要求高精度的需求，其不會(huì)與永久性磁鐵發(fā)生不良反應(yīng)，在低速運(yùn)行時(shí)也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。直驅(qū)電機(jī)具有零間隙、零摩擦和良好的動(dòng)態(tài)性能等特點(diǎn)。

抗蠕動(dòng)交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時(shí)比較平穩(wěn)；交叉排列,多方向受力時(shí)比較穩(wěn)定；該結(jié)構(gòu)可以把平臺(tái)高度降低，結(jié)構(gòu)緊湊，減小阿貝誤差的影響。

?非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設(shè)計(jì)，這種緊湊是結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在有限的空間內(nèi)具有魯棒性和準(zhǔn)確度，獲得重復(fù)定位精度±75nm.

?Z軸采用低摩擦氣缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。

精密控制

?配合業(yè)界上主導(dǎo)的控制器和驅(qū)動(dòng)器相結(jié)合，可提供優(yōu)異的伺服性能、先進(jìn)的控制算法，從而提高動(dòng)態(tài)性能?？刂破饔姓`差補(bǔ)償功能。

定制化設(shè)計(jì)

?可定制用于真空環(huán)境下的版本。

?根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、隔振臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)等整套系統(tǒng)方案。