二維材料具有超薄的平面結(jié)構(gòu)、豐富的元素組成和多種物理性質(zhì)，為未來半導(dǎo)體元器件的構(gòu)筑、集成電路的構(gòu)建提供了可充分選擇的新材料。

采用高質(zhì)量的二維材料（如SHIWEI-CVT真空化學(xué)氣相輸運(yùn)快速可控合成生長制備系統(tǒng)），作為結(jié)構(gòu)基元經(jīng)過轉(zhuǎn)移、拼接或?qū)訉佣询B形成各種范德華異質(zhì)結(jié)/相結(jié)構(gòu)，此類結(jié)構(gòu)蘊(yùn)含著新奇的物理現(xiàn)象，可用于構(gòu)筑新功能電子元器件，為解決二維材料器件加工和實(shí)用化所面臨的問題提供新思路?；诙S異質(zhì)/相結(jié)構(gòu)的器件研究的關(guān)鍵科學(xué)問題是如何對(duì)單一材料進(jìn)行可控地拼接堆垛從而實(shí)現(xiàn)功能化的器件制備與集成。

是維SHIWEI二維材料生長轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可快速可控合成生長高質(zhì)量二維材料、轉(zhuǎn)移堆疊形成性質(zhì)各異的 2D vdWHs, 為探索豐富多樣的物理效應(yīng)和新奇的物理現(xiàn)象提供了可靠穩(wěn)定的平臺(tái)工具。是維SHIWE二維材料生長轉(zhuǎn)移系統(tǒng)廣泛用于包括二維材料及器件研究、半導(dǎo)體材料器件、傳感器材料及器件、新型電子器件、隧穿晶體管、光電檢測(cè)器、憶阻器和磁存儲(chǔ)單元等, 在半導(dǎo)體集成電路、微電子、材料、物理及交叉學(xué)科科學(xué)研究和新材料器件工藝研中應(yīng)用廣泛。

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高真空CVT化學(xué)氣相輸運(yùn)合成生長系統(tǒng)能快速合成生長制備高性能性能

二維材料，目前被廣泛采用，該方法既可高質(zhì)量晶體生長，又可利用化學(xué)

可逆反應(yīng)在不同溫度下反應(yīng)朝不同方向進(jìn)行而生長高性能二維材料，具有

設(shè)備簡單、成本低效率高、生長溫度低和晶體質(zhì)量高的突出特點(diǎn)。二維材

料轉(zhuǎn)移平臺(tái)主要由高清顯微系統(tǒng)、高精度三維轉(zhuǎn)移臺(tái)、真空吸附加熱集成

樣品裝置等部分組成，該系統(tǒng)可用于在超凈化環(huán)境下、惰性氣氛或者真空

環(huán)境中轉(zhuǎn)移堆疊制備二維材料器件，并可擴(kuò)展與手套箱、蒸發(fā)鍍膜儀、

勻膠機(jī)、掩膜板對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)等擴(kuò)展組合聯(lián)用。滿足二維材料生長、濕法轉(zhuǎn)移、

干法轉(zhuǎn)移及非大氣環(huán)境轉(zhuǎn)移等操作。

TT-11高真空CVT二維材料生長轉(zhuǎn)移系統(tǒng)主要由高真空CVT化學(xué)氣相輸運(yùn)合成生長系統(tǒng)及高精度多功能二維材料轉(zhuǎn)移平臺(tái)兩部分組成。

高真空CVT化學(xué)氣相輸運(yùn)合成生長系統(tǒng)能快速合成生長制備高性能性能二維材料，目前被廣泛采用，該方法既可高質(zhì)量晶體生長，又可利用化學(xué)可逆反應(yīng)在不同溫度下反應(yīng)朝不同方向進(jìn)行而生長高性能二維材料，具有設(shè)備簡單、成本低效率高、生長溫度低和晶體質(zhì)量高的突出特點(diǎn)。

二維材料轉(zhuǎn)移平臺(tái)主要由高清顯微系統(tǒng)、高精度三維轉(zhuǎn)移臺(tái)、真空吸附加熱集成樣品裝置等部分組成，該系統(tǒng)可用于在超凈化環(huán)境下、惰性氣氛或者真空環(huán)境中轉(zhuǎn)移堆疊制備二維材料器件，并可擴(kuò)展與手套箱、蒸發(fā)鍍膜儀、勻膠機(jī)、掩膜板對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)等擴(kuò)展組合聯(lián)用。滿足二維材料生長、濕法轉(zhuǎn)移、干法轉(zhuǎn)移及非大氣環(huán)境轉(zhuǎn)移等操作。

1. 顯微轉(zhuǎn)移操作平臺(tái)：

a. 四軸可調(diào)襯底載物平臺(tái)：樣品臺(tái)通過鋼絲滾珠無間隙導(dǎo)軌提供直線移動(dòng)，三軸可調(diào)；支持沿 XY 方向平移，行程 13mm，測(cè)微絲桿控制系統(tǒng)分辨率0.002mm；繞 z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)最大±90°，測(cè)微器精細(xì)調(diào)節(jié)，行程5°，調(diào)節(jié)精度1°左右； 繞x軸和y 軸傾斜臺(tái)，調(diào)節(jié)方式手動(dòng)轉(zhuǎn)輪，臺(tái)面厚度20mm，傾斜角度±3°。

b. 襯底載物平臺(tái)加熱系統(tǒng)：樣品臺(tái)加熱最高溫度為150 ℃，使用 PID 溫度控制器，溫度控制穩(wěn)定性小于±1℃，帶加熱開關(guān)。

c. 四軸可調(diào)載玻片移動(dòng)平臺(tái)：載玻片 XYZ三軸可調(diào)，80mm高穩(wěn)定性不銹鋼臺(tái)面，行程25mm，測(cè)微絲桿控制；樣品送入手動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，臺(tái)面直徑100mm，粗調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍360°，細(xì)調(diào)旋轉(zhuǎn)范圍±5°，定位精度1~ 2°；

d. 支持真空自動(dòng)吸附樣品，確保轉(zhuǎn)移過程中目標(biāo)樣品位置精確固定。真空泵電磁閥控制，按鈕控制是否吸附樣品；真空泵：50L/min 流量；

e. 轉(zhuǎn)移平臺(tái)的樣品載物臺(tái)（底座），能夠固定對(duì)接對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)，方便拆卸和安裝，便于操作；

2. 顯微成像光路系統(tǒng)：

a. 單筒顯微鏡：變倍比1:6.5，變倍范圍0.7X-4.5X，標(biāo)準(zhǔn)工作距離90mm，分辨率63-180lp/mm，95mm超長工作距離20倍物鏡，綜合最大放大倍率800~850倍；

b. 白色LED照明：同軸照明系統(tǒng)，選用高亮度單顆1W LED，色溫5500K，照明均勻；LED照明控制器90V-250V寬電壓,1W LED控制器，可調(diào)光；

c. 顯微相機(jī)：彩色CCD相機(jī)；1920x1080高靈敏度CMOS傳感器，30fps速度保存；支持HDMI相機(jī)直接輸出到顯示器（本設(shè)備不附帶電腦）；曝光時(shí)間0.4ms~999ms，自動(dòng)白平衡；支持WIFI數(shù)據(jù)傳輸；提供顯微相機(jī)操作軟件，支持電腦控制，可軟件測(cè)量顯微樣品尺寸及角度；工作溫度-10~ 50攝氏度。

d. 顯微觀察支架：高穩(wěn)定性鋁型材支架，長寬高280mm*80mm*80mm，支持沿 xy方向 50mm行程，大范圍調(diào)節(jié)顯微鏡觀察位置；

e. 顯示器：全高清專業(yè)顯示器，支持順時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度。

f.? 帶高精度穩(wěn)定性光學(xué)精密減震底座。

g. 帶有其他支持及輔助附件等。