在超高真空和低溫環(huán)境中使用的線性執(zhí)行器需要具備特殊的設(shè)計(jì)和材料選擇，以保證其在極端條件下的可靠性和性能。

以下是一些常見用于超高真空和低溫環(huán)境的線性執(zhí)行器的特點(diǎn)和要求：

材料選擇：線性執(zhí)行器的構(gòu)件和密封件應(yīng)選用耐腐蝕和低揮發(fā)性的材料，例如不銹鋼、鋁合金、陶瓷等。這些材料能夠在真空環(huán)境下抵抗氣體和化學(xué)物質(zhì)的侵蝕，并減少揮發(fā)物質(zhì)的釋放。

密封設(shè)計(jì)：線性執(zhí)行器需要采用有效的密封設(shè)計(jì)，以防止氣體滲透和泄漏。特殊的密封材料和結(jié)構(gòu)可以確保真空環(huán)境的封閉性，在超高真空條件下維持恰當(dāng)?shù)墓ぷ鳡顟B(tài)。

低溫適應(yīng)性：線性執(zhí)行器需要能夠在低溫環(huán)境下正常運(yùn)行，通常要求能耐受-196°C甚至更低的溫度。所選用的材料和部件應(yīng)具備低溫下的良好性能，并避免溫度引起的變形或損壞。

磁屏蔽：在超高真空環(huán)境中，線性執(zhí)行器的電磁部件和元件可能對(duì)精密儀器和實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生干擾。因此，在設(shè)計(jì)過程中應(yīng)考慮有效的磁屏蔽措施，以減少電磁輻射和磁場對(duì)周圍環(huán)境的影響。

高精度和穩(wěn)定性：超高真空和低溫環(huán)境往往需要對(duì)位移控制具有高精度和穩(wěn)定性的線性執(zhí)行器。因此，在設(shè)計(jì)和選擇線性執(zhí)行器時(shí)，需要考慮到其運(yùn)動(dòng)控制性能，并選擇適當(dāng)?shù)膫鞲衅骱涂刂破鬟M(jìn)行精確控制。

常見的應(yīng)用領(lǐng)域包括科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、太空航天等。根據(jù)具體的應(yīng)用需求，可能需要與供應(yīng)商進(jìn)行詳細(xì)討論，以獲取定制化的超高真空和低溫環(huán)境下的線性執(zhí)行器解決方案。定期維護(hù)和保養(yǎng)也是保持線性執(zhí)行器性能穩(wěn)定的重要步驟。

技術(shù)細(xì)節(jié)

2 階段步進(jìn)引擎尺寸 25 mm

相電流 1.5 A 在介質(zhì)中

電機(jī)電壓 24 Vdc

線性速度: 1.5 mm/s

Linearhub 13毫米

軸向力:10 N(帶變速箱30 N)

定位精度 <0.01 mm

操作溫度

Kryo版本:

UHVC1: -196 至 -50 °C

UHVC2: 最高 -269 °C(根據(jù)要求)

超高壓版本 (UHVS): -40 至 +200 °C

干式潤滑,適用于高達(dá)10的超高真空-11hPa,抗輻射高達(dá)106J/kg

特點(diǎn):

帶有開關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)推進(jìn)器

用于集線器限制的線性終端接觸

熱電偶類型K的溫度評(píng)估

選項(xiàng):

VGPL 精密行星齒輪