《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》--技術(shù)資料合集17
一:《氮化物深紫外LED研究新進(jìn)展》
二:《鈍化方法》
三:《多孔低k濕刻蝕》
四:《發(fā)光二極管材料生長(zhǎng)技術(shù)》
五:《改善刻蝕均勻性的技術(shù)》
六:《化學(xué)機(jī)械拋光材料去除機(jī)理》
七:《光學(xué)薄膜的濕刻蝕》
八:《光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)》
九:《硅和sio2的濕式化學(xué)蝕刻》
十:《硅片超聲清洗方法及配置》
十一:《光刻膠剝離清洗》
十二:《金屬輔助化學(xué)刻蝕》
十三:《晶體硅刻蝕技術(shù)》
十四:《晶圓邊緣清洗工藝》
十五:《晶圓臭氧清洗技術(shù)》
十六:《晶圓二流體清洗方法》
十七:《底層薄膜對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光的影響》
十八:《第三代寬帶隙半導(dǎo)體氮化鎵器件研究進(jìn)展》
十九:《氮化鎵金屬氧化物的表面制備和柵極氧化物沉積》
二十:《等離子體對(duì)有機(jī)污染物去除效率的影響》
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