在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對sem測試不太了解，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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特征X射線是原子的內(nèi)層電子受到激發(fā)以后在能級躍遷過程中直接釋放的具有特征能量和波長的一種電磁波輻射。 X射線一般在試樣的500nm-5m m深處發(fā)出。

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當(dāng)高能電子進入樣品后，受到樣品原子的非彈性散射，將其能量傳遞給原子而使其中某個內(nèi)殼層的電子被電離，并脫離該原子，內(nèi)殼層上出現(xiàn)一個空位，原子處于不穩(wěn)定的高能激發(fā)態(tài)。在激發(fā)后10-12S內(nèi)原子便恢復(fù)到最低能量的基態(tài)。在這個過程中，一系列外層電子向內(nèi)殼層空位躍遷，同時產(chǎn)生特征X射線和俄歇電子，釋放出多余的能量。特征X射線有足夠大的能量，可以從樣品深部出射，其產(chǎn)生范圍包容了相互作用區(qū)的最外層，對于中等以上原子序數(shù)的樣品，如金屬或陶瓷，該范圍約幾個微米。特征X射線攜帶樣品化學(xué)成分信息。

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