從控制系統(tǒng)的角度劃分，蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可分為手動(dòng)型、自動(dòng)型及CNC數(shù)控型三種模式。早期的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)以手動(dòng)型和自動(dòng)型為主，當(dāng)時(shí)的控制系統(tǒng)主要完成空間坐標(biāo)值的監(jiān)控與實(shí)時(shí)采樣。隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)及數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，CNC控制系統(tǒng)變得日益普及，高精度、高速度、智能化成為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)控制系統(tǒng)發(fā)展的主要趨勢(shì)。

1、手動(dòng)控制系統(tǒng)

手動(dòng)控制系統(tǒng)主要包括坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)、測(cè)頭系統(tǒng)、狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等。

蔡司坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)是將X、Y、Z三個(gè)方向的光柵信號(hào)經(jīng)過處理后，送入計(jì)數(shù)器，CPU讀取計(jì)數(shù)器中的脈沖數(shù)，計(jì)算出相應(yīng)的空間位移量。

2、機(jī)動(dòng)控制系統(tǒng)

與手動(dòng)型控制系統(tǒng)比較，機(jī)動(dòng)性控制系統(tǒng)增加了電機(jī)、驅(qū)動(dòng)器和操縱盒。測(cè)頭的移動(dòng)不再需要手動(dòng)，而是用操縱盒通過電機(jī)來驅(qū)動(dòng)。電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的速度和方向都通過操縱盒上手桿偏擺的角度和方向來控制。

3、CNC控制系統(tǒng)

CNC系統(tǒng)的測(cè)量過程是由計(jì)算機(jī)控制的，它不僅可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量、自學(xué)習(xí)測(cè)量、掃描測(cè)量，也可通過操縱桿進(jìn)行機(jī)動(dòng)測(cè)量。