關(guān)于CMM三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的檢測(cè)性能，三本精密儀器講解如下：

測(cè)量范圍：
X軸范圍：1000mm
Y軸范圍：1200mm
Z軸范圍：600mm

環(huán)境狀態(tài)：
溫度范圍：18°C至22°C
相對(duì)濕度：40%至60%
供氣壓力：不明確提供具體數(shù)值

機(jī)床精度：
MPE-E（測(cè)量誤差）：(1.9 + L/300)um，其中L指代測(cè)量長(zhǎng)度（單位為mm），表示測(cè)量誤差隨著測(cè)量長(zhǎng)度的增加而逐漸增大。
MPE-P（位置誤差）：1.9um，表示位置誤差為固定值1.9um。

CMM三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具有以下特征：
開(kāi)放橋式結(jié)構(gòu)：采用開(kāi)放的橋式結(jié)構(gòu)，配備花崗巖工作臺(tái)和龍門(mén)移動(dòng)系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的測(cè)量平臺(tái)。
工業(yè)陶瓷材料：橫梁和主軸采用工業(yè)陶瓷材料，具有優(yōu)異的剛性和穩(wěn)定性。
氣浮軸承：采用氣浮軸承四面環(huán)抱，確保機(jī)器的運(yùn)行穩(wěn)定性和可靠性。
集成減震系統(tǒng)：內(nèi)置減震系統(tǒng)，對(duì)地基的要求相對(duì)較低，適應(yīng)一般情況下的安裝環(huán)境。
微處理器CNC矢量控制系統(tǒng)：采用微處理器CNC矢量控制系統(tǒng)，具有高可靠性和精確的控制動(dòng)作，帶有防碰撞功能。
主動(dòng)式掃描發(fā)生器和蔡司玻璃光柵尺：配備主動(dòng)式掃描發(fā)生器和蔡司玻璃光柵尺，可實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量，分辨率達(dá)到0.2um。
空間速度：最大空間速度為425mm/s，可以快速、高效地進(jìn)行測(cè)量操作。
蠕動(dòng)速度控制狀態(tài)：在CNC測(cè)量時(shí)，可以轉(zhuǎn)接到蠕動(dòng)速度控制狀態(tài)，范圍為0-5mm/s，方便進(jìn)行深孔測(cè)量和目力無(wú)法觀察到的細(xì)微變化的檢測(cè)。
這些特征使得ZEISS蔡司三坐標(biāo)具備高精度、穩(wěn)定性和可靠性，在各種測(cè)量應(yīng)用中表現(xiàn)出色。

這些性能指標(biāo)描述了ZEISS蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在給定環(huán)境條件下的測(cè)量范圍、精度和穩(wěn)定性。請(qǐng)注意，供氣壓力并未提供具體數(shù)值，因此無(wú)法給出詳細(xì)的描述。如果有特定的應(yīng)用要求或更詳細(xì)的性能規(guī)格需求，建議直接聯(lián)系三本精密儀器公司以獲取準(zhǔn)確的信息。

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