在做 X 射線光電子能譜(XPS)測試時，科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到，好多同學僅僅是通過文獻或者師兄師姐的推薦對XPS有了解，但是對于其原理還屬于小白階段，針對此，科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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1.將所拷貝數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成TXT格式:把所需擬合元素 的數(shù)據(jù)引入Origin后,將column A和B中的值復制 到一空的記事本文檔中(即成兩列的格式,左邊 為結(jié)合能,右邊為峰)，并存盤。如要對數(shù)據(jù)進行去脈沖處理或截取其中一部分數(shù)據(jù)，需在Origin中做好處理。

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2.打開XPS Peak,引入數(shù)據(jù):點Data----Import(ASCII),引入所存數(shù)據(jù),則出現(xiàn)相應的XPS譜圖。

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3.選擇本底:點 Background,因軟件問題,High BE和Low BE的位置最好不改，否則無法再回到Origin，此時本底將連接這兩點，Type可據(jù)實際情況選擇，一般選擇Shirley類型。

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4.加峰：點Addpeak出現(xiàn)小框在PeakType處選擇s、p、d、f等峰類型(一般選s)在Position處選擇希望的峰位需固定時則點fix前小方框同法還可選半峰寬(FWHM)、峰面積等。各項中的constraints可用來固定此峰與另一峰的關系,如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位間距可固定為45,峰面 積比可固定為4:3等。點Delete peak可去掉此峰。然后再點Add peak選第二個峰，如此重復。

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5.擬合:選好所需擬合的峰個數(shù)及大致參數(shù)后,點Optimise region進行擬合,觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況,如不好,可多次點Optimise region。

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6.參數(shù)查看：擬合完成后，分別點另一個窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每個峰的參數(shù)，此時XPS峰中變紅的為被選中的峰。如對擬合結(jié)果不region滿意，可改變這些峰的參數(shù)，然后再點Optimise。

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7.點Save XPS存圖，下回要打開時點Open XPS就可以打開這副圖繼續(xù)進行處理。

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8.數(shù)據(jù)輸出：點Data――Print with peak parameters可打印帶各峰參數(shù)的譜圖，通過峰面積可計算此元素在不同峰位的化學態(tài)的含量比。

點Data――Export to clipboard，則將圖和數(shù)據(jù)都復制到了剪貼板上，打開文檔（如Word文檔），點粘貼，就把圖和數(shù)據(jù)粘貼過去了。

點Data――Export （spectrum），則將擬合好的數(shù)據(jù)存盤，然后在Origin中從多列數(shù)據(jù)欄打開，則可得多列數(shù)據(jù)，并在Origin中作出擬合后的圖。

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