目前，越來越多的用戶發(fā)現(xiàn)氫氣發(fā)生器是CVD工藝生產中一個重要的組成部分。

在CVD的工藝中，需要一種穩(wěn)定可靠的方法來供應超高純度的氫氣。

使用氫氣發(fā)生器代替鋼瓶或其他方式運輸?shù)臍錃饪杀苊庠阢@石合成過程中氫氣突然耗盡的問題，并且氫氣發(fā)生器還具有更多的安全優(yōu)勢，同時可以幫客戶節(jié)省長期的用氣成本。

氫氣鋼瓶中的氫氣的含水量高于CVD工藝所要求的數(shù)值。因此，氫氣鋼瓶中的氫氣需要進一步干燥才可使用，常用的方法是使用鈀凈化器。

我們可以把鈀凈化器看作是一種非滲透膜，上面只能吸附和解吸氫離子。那么只要非滲透膜完好無損，系統(tǒng)中沒有任何泄漏，氫氣的純度就可以得到保證。因此需要定期測試鈀膜完整性，常用的方法是使用高真空，并檢查真空狀態(tài)是否可保持，或用氦氣對系統(tǒng)加壓以檢查泄漏。

但當使用鈀膜凈化氫氣時，需要關注到的一個問題是“氫脆”。在某些條件下，留在金屬中的氫離子會導致鈀脆裂。這是進行真空泄漏測試或氦氣加壓測試的主要原因之一。同時，保持真空可去除鈀中吸收的氫離子，以避免氫脆。

若不使用鈀膜凈化，其他的干燥技術同樣也可以產生超高純度的氫氣，例如，Peak 氫氣發(fā)生器采用PSA凈化技術生產的超高純氫氣，具有ppb水平含量的微量氧氣和水分，而不存在“氫脆”對鈀凈化器造成損害這樣的風險，避免了因為鈀膜損壞而導致的高昂的維護費用。

當然，PSA凈化技術也不需要進行真空泄漏測試，因為PSA技術相對于鈀凈化器來說是一種“滲透膜”，因此真空測試并不適用，若進行真空測試，則可能會失敗，用戶可能需要更改其驗證方法。然而，明顯的優(yōu)勢是，PSA通常具有更高的可靠性，若發(fā)生故障，PSA凈化技術的維修成本也更低。

結論

PSA凈化技術可應用到發(fā)生器中為CVD工藝提供超高純度氫氣，從而避免使用鈀膜凈化技術的缺點。

Peak?Precision?Hydrogen?Trace

采用傳統(tǒng)的鋼瓶作為CVD鉆石培育的氫氣來源存在安全風險，在監(jiān)測、更換、訂購鋼瓶環(huán)節(jié)所花費的時間可能導致生產效率降低。Precision氫氣發(fā)生器可提供全天候24/7的高純度氫氣供應，不同于鋼瓶，您無需斷開發(fā)生器與CVD設備的連接，可保證您的實驗室持續(xù)生產高品質的鉆石。

Precision氫氣發(fā)生器采用最新的PEM電解池制氫技術和PSA干燥技術，以及獲得專利的Nafion技術，可提供純度高達99.99999%的純凈、干燥的氫氣。通過發(fā)生器生產的氫氣會比鋼瓶純度更高，因為鋼瓶中可能含有殘留的碳氫化合物和水分。

?特點?

• 純度高達99.99999%，為CVD鉆石培育提供氫氣解決方案

• 流量高達1200 cc/min，通過級聯(lián)多臺設備可獲得更高流速

• 經(jīng)驗證的質子交換膜技術，可按需產生高純度的氫氣

• 安全性高，配備自動泄漏檢測和自動關機功能

• 緊湊、模塊化、可堆疊的設計，充分利用空間

• 一鍵式開關，操作便捷

• 12個月全面質保

• 核心部件質子交換膜，提供三年質保

關于PEAK Scientific?畢克氣體

PEAK Scientific畢克氣體是實驗室級氣體發(fā)生器制造和研發(fā)領域的領導者，專注于開發(fā)安全可靠的氣體發(fā)生器。憑借著多年的寶貴經(jīng)驗，我們開發(fā)出一系列行業(yè)領先的氣體發(fā)生器，包括：氮氣、氫氣和零級空氣發(fā)生器以及制氮機、制氧機，適用于CVD、LC-MS（液質聯(lián)用）和GC（氣相色譜）及其他實驗室設備在內的多種應用。

Peak與政府、高校、科研機構、醫(yī)療機構以及制藥、化工等領域企業(yè)緊密合作，提供一站式氣體解決方案。Peak的專業(yè)工程師遍布全球，無論您身在何處，我們都能提供行業(yè)領先的服務與技術支持。

Peak在中國一直保持了良好的發(fā)展勢頭，并在2016、2020年兩次斬獲英國商會頒發(fā)的英國商業(yè)大獎。我們相信每臺Peak發(fā)生器都承載著這種對成功與卓越的不懈追求！