SEM掃描電鏡各參數(shù)都代表什么意思，在做測試時(shí)我們又該如何選擇？
1， 加速電壓
一般，加速電壓越高，圖像分辨率越高，當(dāng)樣品導(dǎo)電性好且不易受電子束損傷時(shí)可選用高加速電壓，這時(shí)電子束能量大，對(duì)樣品穿透深，材料襯度減小，圖像分辨率提高。但加速電壓過高，電子束對(duì)樣品的穿透能力過大，樣品表面信息缺失。
低加速電壓時(shí)，電子束能量低，因此圖像畸變和樣品的損傷小，同時(shí)荷電現(xiàn)象減少，因此在表征導(dǎo)電性差的試樣方面有一定優(yōu)勢。
因此，根據(jù)自己的要求靈活地選擇加速電壓，才能得到理想的電鏡圖像。當(dāng)需要觀測樣品的表面信息、樣品的導(dǎo)電性較差、樣品的熱穩(wěn)定性較差時(shí)，需要選擇較低的，甚至是超低的加速電壓。當(dāng)需要得到分辨率高的圖像、樣品表面存在有機(jī)污染或是樣品內(nèi)部的相組成信息時(shí)，需要選擇較高的加速電壓。
2，工作距離
工作距離(WD）是物鏡下極靴到樣品表面的距離。工作距離增大時(shí)，樣品上的束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加。同時(shí)，較大的工作距離可以實(shí)現(xiàn)極小倍數(shù)成像，放大倍數(shù)能夠達(dá)到幾十倍。通常工作距離可在2-45mm范圍內(nèi)選用。觀察高分辨圖像時(shí)可選用小于5mm的工作距離，配合Inlens 探測器;而觀察粗糙斷口表面或較大的植物樣品時(shí)可以選用10mm 以上的工作距離，以獲得較大的景深。
3，探測器種類
? ? ? ? SE2和Inlens都是二次電子探測器，用于樣品形貌檢測。ASB探測器是背散射電子探測器，用于元素襯度成像。
4， 放大倍數(shù)和標(biāo)尺
掃描電鏡放大倍數(shù):體現(xiàn)線圈磁場變化控制電子束掃描區(qū)域大小的能力范圍，是圖像顯示尺寸和電子束在樣品掃描區(qū)域尺寸的線性比值，以M表示，如果樣品上長度為L直線上的信息，在顯像管上成像在L。長度上，則放大倍數(shù)為:
M=Lc/Ls
? ? ? ?現(xiàn)在的掃描電鏡幾乎全部用數(shù)碼相機(jī)照相。每個(gè)廠家對(duì)放大倍數(shù)的定義均不相同。每個(gè)儀器上也會(huì)有很多放大倍數(shù)顯示方法，對(duì)于不同儀器，相同放大倍數(shù)下看到的區(qū)域不一定一樣大。此時(shí)需要看標(biāo)尺，所有儀器上的標(biāo)尺長度是一致的。

? 如果需要了解更多SEM測試相關(guān)內(nèi)容，可以聯(lián)系武漢鑠思百檢測。(www.sousepad.com)鑠思百檢測作為華中地區(qū)領(lǐng)先的第三方權(quán)威機(jī)構(gòu)，與武漢眾多高校及其分析測試中心有交流合作。包括SEM測試在內(nèi)，F(xiàn)TIR測試，掃描電鏡，熱重測試，EPR等測試都有豐富的經(jīng)驗(yàn)，歡迎聯(lián)系送樣測試！