“砥礪五十年——紀念《人工晶體學報》創(chuàng)刊五十周年”線上學術講堂已經(jīng)拉開序幕！

6月3日-7月8日，一周一次，精彩不容錯過！

第五講

超寬禁帶半導體AlN單晶生長技術最新進展及其面臨挑戰(zhàn)

內(nèi)容要點：作為新一代戰(zhàn)略電子材料，AlN具有超寬禁帶寬度、高熱導率、高擊穿場強、高化學和熱穩(wěn)定性等優(yōu)異性能，是高壓、高頻、高功率電子器件、MEMS傳感器以及高Al組分深紫外光電器件等理想襯底材料。PVT法是制備高質(zhì)量AlN單晶唯一方法，但該生長工藝仍存在形核控制、大尺寸擴晶技術、晶圓加工、N型摻雜及大規(guī)模量產(chǎn)穩(wěn)定性、良率等一系列難題有待解決。針對上述問題，奧趨光電自主開發(fā)了AlN單晶生長工藝過程對流、傳質(zhì)、過飽和度、生長速率及應力預測等一系列有限元軟件，并迭代設計了多代全自動AlN單晶PVT氣相沉積爐及其配套熱場與工藝?；谏鲜鲅芯炕A，成功解決了AlN籽晶粘接、生長形核控制、快速擴徑技術、晶圓加工等一系列難題，生長出了高質(zhì)量、直徑近60mm的Al極性AlN單晶生長及其配套的穩(wěn)定、可重復同質(zhì)外延生長工藝，并實現(xiàn)2英寸及其以下尺寸AlN單晶襯底的小批量量產(chǎn)。

主講嘉賓：吳亮教授?

嘉賓主持：賈志泰教授?

直播時間：2022年7月2日周六(晚) ?19:00-20:00

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嘉賓介紹

主講嘉賓：吳亮教授?，奧趨光電技術（杭州）有限公司創(chuàng)始人兼CEO、《人工晶體學報》編委。分別畢業(yè)于比利時魯汶大學、清華大學及大連理工大學，獲博士、碩士及本科學位，南京大學商學院EMBA。有近20年半導體、光伏及LED用各種單晶生長工藝研究與開發(fā)經(jīng)驗，曾在Intel、比利時FEMAGSoft SA、蘇州協(xié)鑫工業(yè)應用研究院（現(xiàn)協(xié)鑫中央研究院）等擔任過研發(fā)、市場及管理等各種重要崗位負責人，申請/授權國內(nèi)國際專利超過50項，在德國出版晶體生長專著一部，發(fā)表各種期刊/會議論文及受邀做各種國際/國內(nèi)報告100多篇/次。

?嘉賓主持：賈志泰教授?

嘉賓主持：賈志泰，山東大學教授、博士生導師、泰山學者青年專家，現(xiàn)任晶體材料國家重點實驗室主任助理、新一代半導體材料研究院副主任。主要從事人工晶體的設計、生長及性能研究。作為負責人主持了國家重點研發(fā)計劃、教育部聯(lián)合基金重點項目、山東省重點研發(fā)計劃項目等。在Advanced Functional Materials、Crystal Growth & Design、Journal of Crystal Growth等晶體材料領域權威期刊發(fā)表SCI論文90余篇，獲授權發(fā)明專利10余項。擔任《人工晶體學報》《發(fā)光學報》青年編委，中國稀土學會稀土晶體專業(yè)委員會委員等。