瑞樂半導體-選購快速退火爐需要了解什么？
快速退火爐（Rapid Thermal Processing，簡稱RTP）采用紅外燈加熱技術和腔體冷卻技術，實現(xiàn)材料快速加熱和冷卻，從以實現(xiàn)特定的熱處理效果。主要應用于集成電路和光電子等半導體領域。在半導體工藝中，熱處理/退火工藝發(fā)揮重要的作用，原因是半導體器件為了功能化，電信號的輸入/輸出就必須有金屬電極作為輔助。為了獲得良好的接觸，需要通過退火/擴散工藝進行優(yōu)化。熱處理/退火是退火爐的重要功能之一，退火爐在其他不同行業(yè)還有其他重要應用。所以不同用途，不同行業(yè)選擇快速退火爐也是一個重要問題，要綜合價格預算、設備性能、實際用途、售后服務等因素來進行選擇。下面通過對快速退火爐的關鍵參數(shù)和信息進行分析，讓我們在退火爐的選擇上少走彎路。

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1.制造商和售后維護服務

好的產(chǎn)品離不開好的企業(yè)！企業(yè)必須通過專利不斷積累技術儲備，并保持不脫離市場和用戶的態(tài)度，才能生產(chǎn)出滿足用戶期望的產(chǎn)品。因此，在選擇快速退火爐時，首先要考慮廠家的硬核實力！說到廠家硬核實力自然不能忽略售后維修服務。優(yōu)秀的售后維修服務使用戶權益更有保障。沒有設備能保證絕對沒有故障。一旦出現(xiàn)問題可能導致會整個項目進程滯后甚至暫停。因此，選擇一個能夠提供相應售后維修服務、能夠現(xiàn)場解決問題的廠家顯得極為重要。

2.安全防護
近年來，高校實驗室安全事故頻發(fā)。這種安全事故不僅造成了直接的經(jīng)濟損失，也給實驗人員帶來了不可磨滅的影響。因此，大家在選擇快速退火爐時尤其注意其安全保障性能?？焖偻嘶馉t的安全保障措施一般需包括緊急開關、爐壁高溫報警、爐膛安全閥、艙門誤操作報警等。安全防范措施越多，設備的安全系數(shù)就越高，設備安全和人生安全更有保障。

3.性能參數(shù)
快速退火爐一般由溫度控制系統(tǒng)、真空維持系統(tǒng)、水冷循環(huán)系統(tǒng)、氣氛處理系統(tǒng)和PC操作系統(tǒng)組成。其主要性能參數(shù)均與上述系統(tǒng)主要部件相對應。性能參數(shù)的好壞取決于快速退火爐是否滿足樣品的工藝指標。以下是快速退火爐及其關鍵性能參數(shù)。

①最高溫度。
最高溫度就是快速退火爐能夠升溫的最高溫度點，這是快速退火爐最重要的參數(shù)之一。而這個參數(shù)可以很直觀地展示在數(shù)顯平臺上。但有部分商家將熱源接近的溫度示作最高溫度，實際上樣品臺或樣品與熱源的溫度有一定差距。購買快速退火爐一定要樣品臺或樣品溫度確保能達到性能指標。同時，最高溫度下的整體穩(wěn)定性和持久性也是關注的要點。否則很容易對樣品造成損壞。
②升溫/降溫速率。
快速退火爐的“快”字足以證明快速升溫/降溫速率的重要性。因此，我們應當關心實際溫度（SV）與設定溫度（PV）的跟隨性。在溫度監(jiān)測線圖中（可以實時檢測加熱過程中的溫度變化，這個功能對于快速退火爐來說非常重要），SV和PV曲線的重合度越高，說明溫度控制精度越好。如下圖所示，紅色曲線為設定溫度，綠色曲線為實際溫度，黑色曲線為熱源功率，上面的線圖顯示了SV和PV的溫度變化。

其次，就冷卻速度而言，各大廠家采用的冷卻方式基本相同，大部分都是通過冷卻氣氛來達到快速冷卻的效果。其中，冷卻氣氛的氣體流量控制方式和精度十分重要，此外，氣冷系統(tǒng)需要有足夠的安全保障。

③溫度均勻性
快速退火爐的溫度均勻性是指有效加熱區(qū)的溫度穩(wěn)定在目標溫度后，樣品上不同點的溫度最大值與最小值之差。這個主要參數(shù)關系到退火效果的好壞。對此，國家標準GB/T9452-2012《熱處理爐有效加熱區(qū)測定方法》明確規(guī)定了要求。

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