半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度準(zhǔn)確控制，產(chǎn)品有流體氟化液控溫、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機、直冷型制冷機組等。冠亞制冷公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

　　1、chiller系列：

　　chiller系列分為7℃~40℃、-25℃~40℃、-45℃~40℃、30℃~90℃ 變頻 雙路、-80℃~80℃ -100℃~80℃ 復(fù)疊制冷、換熱控溫（無壓縮機）（20℃~90℃）等，chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行管理監(jiān)控記錄。

　　2、Chiller 氣體降溫（-40℃、-80℃、-100℃）：

　　Chiller 氣體降溫控溫系列將氣體（無腐蝕）降溫使用：如干燥壓縮空氣、氮氣、氬氣等常溫氣體通入到LQ系列設(shè)備內(nèi)部，出來的氣體即可達到目標(biāo)低溫溫度，供給需求測試的元件或換熱器中。

　　3、Chiller 直冷型制冷（-40℃、-80℃、-150℃）：

　　Chiller 直冷型制冷將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進入目標(biāo)控制元件（換熱器）換熱，從而使目標(biāo)控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體（氣體）輸送入換熱器換熱能力更高，這樣特別適用于換熱器換熱面積小，但是換熱量大的運用場所。也可以如氣體捕集運用，將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā)，通過捕集器表面冷凝效應(yīng)，迅速捕集空間中的氣體

　　4、循環(huán)風(fēng)控溫裝置 AI (-65℃~125℃、-80℃、-105℃）：

　　循環(huán)風(fēng)控溫裝置運用于半導(dǎo)體設(shè)備高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?，可連續(xù)長時間工作，自動除霜,除霜過程不影響庫溫，模塊化設(shè)計，備用機替換容易(只要一臺備用機組即可)，構(gòu)筑一套高低溫恒溫室變的簡單(根據(jù)提供的圖紙，像搭積木一般拼接好箱體，連接好電和水,設(shè)定好溫度即可工作)

　　5、射流高低溫沖擊測試機 AES(-45℃、-60℃、-80℃、-100℃、-115℃~225℃）：

　　射流式高低溫沖擊測試機給芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供準(zhǔn)確且快速的環(huán)境溫度。是對產(chǎn)品電性能測試、失效分析可靠性評估的儀器設(shè)備。

　　6、快速溫變控溫卡盤MD (-75℃~225℃）：

　　快速溫變控溫卡盤產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化，準(zhǔn)確控制溫度，提供開放的表面平整工作平臺，快速升降溫、恒溫控制，運用于RF器件和高密度功率器件測試，也可以運用于實驗室平板快速冷卻等

　　7、廢氣冷凝回收裝置 (-35℃、-75℃）：

　　廢氣冷凝回收裝置應(yīng)用于氣體冷凝液化回收。將廢氣或其他電子氣體通過引風(fēng)機(真空泵）接入到設(shè)備，通過降低溫度液化捕集分離到收集罐中，其他氣體排放，從而實現(xiàn)氣體的冷凝捕集回收。

　　8、液冷CDU分配控制單元 ZLFQ系列：

　　液冷CDU分配控制單元 ZLFQ系列適用于半導(dǎo)體測試，電子設(shè)備恒溫測試，冷卻服務(wù)器配套基礎(chǔ)設(shè)施，及其他流體控溫場所。是具備獨立的換熱系統(tǒng)、供電系統(tǒng)和監(jiān)控系統(tǒng)的模塊化智能設(shè)備。