氦氣泄漏檢測儀通常被稱為氦質(zhì)譜泄漏檢測儀，由質(zhì)譜原理制成的儀器被稱為質(zhì)譜儀或質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀通過其關(guān)鍵部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量氣體進入離子，在一定場地運動后，不同質(zhì)量荷比的離子在場地分離，相同質(zhì)量荷比的離子在場地聚集，如果接收器在適當(dāng)位置接收所有這些離子，將根據(jù)質(zhì)量荷比的大小分離質(zhì)譜圖，即質(zhì)譜。

用于測漏的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜檢漏儀。所有測量氣體分壓的質(zhì)譜儀，如四極質(zhì)譜儀.射頻質(zhì)譜計.飛行時間質(zhì)譜計.旋轉(zhuǎn)質(zhì)譜等可用于測漏。

專門定制的以氦為示蹤氣體進行泄漏檢測的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢測儀。該儀器不僅靈敏度高，而且適應(yīng)性廣.定位定量準(zhǔn)確.無毒.安全.反應(yīng)速度快等優(yōu)點。在氦質(zhì)譜檢漏儀中使用最多的是90種°和180°磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)中的質(zhì)譜檢漏儀一般選用氦作示蹤氣體，主要原因如下：

1.氦空氣中和真空系統(tǒng)中殘留的氣體含量很少(空氣中約5.2ppm），在材料出氣中也很少，所以底部壓力小，輸出底部電流也很小。由于底部小，由于某些原因?qū)е碌撞科鸱?，即底部噪聲小，可反映?xì)微泄漏率，靈敏度高。

2.氦的質(zhì)量很?。ㄏ鄬Ψ肿淤|(zhì)量為4），很容易通過漏孔。這樣，氦比氫以外的其他氣體通過同一漏孔的泄漏率更大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度更高。

3.氦是一種稀有氣體，不會與被檢件器壁發(fā)生化學(xué)變化，不會污染被檢件，使用安全。

4.氦兩側(cè)為氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6)，質(zhì)荷比與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏移半徑也大不相同，容易分離。在尋找氦峰時，不易受到其他離子的影響，因此降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。同時，還可以增加分析器出口電極與離子源加速極之間的間隙，使更多的氦離子通過，提高儀器的靈敏度。

5.氦在檢測件和真空系統(tǒng)中不易吸附。這樣，檢測漏孔可以使氦信號迅速消失，從而繼續(xù)檢測泄漏，提高設(shè)備的檢測效率。

6.氫氣的某些性能(如小質(zhì)量).容易通過漏孔)比氦好。但是，由于氫一方面有爆炸的危險，另一方面在油擴散泵中，由于油的熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫，氫的底部極高，波動較大，靈敏度大大降低，所以很少選擇。

深圳華爾升智控技術(shù)有限公司是一家具有自主知識產(chǎn)權(quán)和持續(xù)創(chuàng)新能力，經(jīng)營業(yè)績穩(wěn)定增長的高科技公司。公司擁有經(jīng)驗豐富的研究應(yīng)用技術(shù)團隊，穩(wěn)健高效的運營團隊和專業(yè)的銷售隊伍，主要成員均有著十多年的氦質(zhì)譜檢漏行業(yè)從業(yè)經(jīng)驗，有豐富的經(jīng)驗和技術(shù)實力。