近年來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，氦質(zhì)譜檢漏及其應(yīng)用技術(shù)不斷發(fā)展和完善。世界各地的制造商推出了各種氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應(yīng)用于航空航天、電力電子、汽車、制冷和制藥行業(yè)。從新型氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點(diǎn)來(lái)看，氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜性、自動(dòng)化、寬量程、無(wú)油系統(tǒng)等先進(jìn)方向發(fā)展。這些特性滿足了檢漏應(yīng)用的需要，促進(jìn)了氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的發(fā)展。

獲取氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：

1.較小的檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀能檢測(cè)到較小的檢漏率。

2.響應(yīng)清除時(shí)間：當(dāng)一定流量的探測(cè)氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器時(shí)，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，泄漏指示器可以達(dá)到大值，泄漏指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除時(shí)間略長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。

3.啟動(dòng)時(shí)間：氦質(zhì)譜檢漏儀開啟電源與能檢測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。

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