電子芯片是比較常見的一種電子產(chǎn)品，這種產(chǎn)品也是需要在潔凈車間進行生產(chǎn)的。今天合潔科技電子凈化工程給大家介紹電子芯片潔凈車間設計建設的相關(guān)內(nèi)容。

　　電子芯片潔凈車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業(yè)潔凈室，芯片制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

　　潔凈車間的建造，除考慮實用性及可靠性外， 強調(diào)靈活性以適應集成電路更新?lián)Q代快的要求，使原有無塵車間能方便的迅速的按生產(chǎn)要求進行調(diào)整及改造。FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的凈化設計方案。

　　FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點是整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為芯片制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。

　　芯片制造對潔凈車間環(huán)境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學機械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。另外，芯片制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設計上就要有所要求。

　　好的潔凈車間設計不僅能節(jié)省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。FFU循環(huán)系統(tǒng)運行成本低，潔凈度安全性高，因此芯片潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)是芯片制造潔凈廠房的設計趨勢。

　　芯片制造是高能耗的產(chǎn)業(yè)，而潔凈空調(diào)系統(tǒng)的能耗則占其中的30%以上，因此節(jié)能安全的潔凈室設計和各種熱能回收設計將是未來的發(fā)展方向。主流大廠已經(jīng)進入了納米時代，芯片制造潔凈廠房的設計建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。

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