今天，小編將介紹分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏儀敏感性的影響，希望對大家有所幫助。

分子泵是一種真空泵，利用高速轉(zhuǎn)子將動量傳遞給氣體分子，使其獲得定向速率，從而被壓縮并驅(qū)動到排氣口，然后被從前面抽走。分子泵是獲得高真空和超高真空的主要設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門。操作簡單，啟動時間短，分子流區(qū)各種氣體的有效抽速幾乎不變，對含量高的氣體壓縮比高，可獲得清潔無油的高真空和超高真空環(huán)境。

分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀獲取高真空的重要組成部分，是氦質(zhì)譜檢漏儀不可缺少的核心組成部分。分子泵的特性直接關(guān)系到檢漏儀的性能參數(shù)。分子泵的發(fā)展直接關(guān)系到氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。

逆擴散檢漏儀

逆擴散泄漏檢測器的泄漏檢測口連接到高真空泵和低真空泵之間，因此檢測樣品的可測泄漏壓力是高真空泵的前抗壓。如果樣品壓力超過此壓力，則高真空泵將無法正常工作。渦輪分子泵的前抗壓一般不超過50Pa,遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足高壓測漏的要求。

1980年國際上出現(xiàn)了一種叫做“復(fù)合性”分子泵，現(xiàn)在，其前面的抗壓能力已達(dá)2萬Pa。用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵，可直接實現(xiàn)高樣品壓力下的檢漏。

一種由復(fù)合分子泵組成的高壓檢漏儀，其工作過程如下。

被試樣抽1500Pa,V1開啟時，氦氣反擴散通過整個分子泵進入質(zhì)譜室，實現(xiàn)儀器的反擴散泄漏測量。如果樣品能進一步抽到200個Pa下列，則V2關(guān)掉，V3打開，從泵的中間口向質(zhì)譜室擴散，如果樣品能進一步抽到40Pa下列，則V3關(guān)掉，V4.打開時，氨從泵的上部反向擴散到質(zhì)譜室，或直接進入質(zhì)譜室（常規(guī)泄漏測量）。這種從高壓泄漏檢測到微泄漏檢測的自動過程，不僅效率高，而且便于泄漏率的定量，因為閘閥流導(dǎo)、泵壓縮比等參數(shù)固定，儀器只需一次校正。

改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉(zhuǎn)速，檢測信號值發(fā)生變化。儀器運行時，分子泵轉(zhuǎn)速變化后，只要改變泄漏信號的校正系數(shù)，就可以保證檢測泄漏率的準(zhǔn)確性，無需再次校準(zhǔn)。如果儀器檢測信號時信號值太小，可以選擇降低儀器的分子泵轉(zhuǎn)速，提高檢測信號值，提高儀器的檢測靈敏度。

以上是分子泵轉(zhuǎn)速對氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度影響的相關(guān)內(nèi)容，希望對大家有所幫助。

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