? ? ? 源表（Source Meter Unit， SMU）廣泛用于半導(dǎo)體器件、材料、醫(yī)療、發(fā)光器件與光通信等行業(yè)，測(cè)量器件的伏安（I-V）特性曲線、絕緣材料的電阻值（電阻率）、電容的絕緣電阻（漏電流）、光電器件的暗電流或者L-I-V等。

? ? ?源表的名稱已經(jīng)清晰的告訴我們，它包含了高精度電源輸出和測(cè)量， 但它僅僅是電源和萬(wàn)用表的簡(jiǎn)單拼湊嗎？ 為了簡(jiǎn)要說明這個(gè)問題， 我以下列出了源表的幾個(gè)典型的應(yīng)用場(chǎng)景：

• ??在測(cè)量絕緣材料的電阻值（GΩ/TΩ）或 二極管的反向漏電流時(shí)，通常給被測(cè)件DUT施加電壓激勵(lì)，并測(cè)量對(duì)應(yīng)的電流；

• 在測(cè)量常規(guī)小電阻， 或者驅(qū)動(dòng)LED發(fā)光二極管時(shí)，通常給DUT施加電流激勵(lì)，測(cè)量對(duì)應(yīng)的電壓值；

• ?測(cè)量電容器、鋰電池等具備儲(chǔ)能特性器件時(shí)，會(huì)對(duì)其進(jìn)行充放電的同時(shí)， 連續(xù)記錄電壓和電流。

? ? 通常源表都具備電壓源Vs、電流源Is、電流源IM、電壓表VM四種功能，而且能夠任意搭配激勵(lì)源和測(cè)量功能，按照被測(cè)DUT特征選擇對(duì)應(yīng)的模式。 如下圖所示，??

? ? ?與直流電源稱輸出端子V+、V-不同，源表SMU通常將源的輸出端子稱為High Force、Lower Force。因此，源和測(cè)量的組合有： VFIM、VFVM、IFVM、IFIM （V/I激勵(lì)F + V/I測(cè)量M）。

? ? 在電壓和電流形成的直角坐標(biāo)系中，按照電壓V的正負(fù)和電流I的正負(fù)，可以得到上圖 V/I的四個(gè)象限，大部分源表可以工作在任意的象限。???

? ?高性能精密源表，內(nèi)置波形發(fā)生器功能，配合強(qiáng)大的觸發(fā)機(jī)制、可輕松實(shí)現(xiàn)直流、脈沖、掃描以及任意自定義波形激勵(lì)。

? ? ?需要注意的是，源表SMU的脈沖電壓和電流最小脈沖寬度、 上升/下降沿的典型指標(biāo)，以 B2900系列源表為例， 可以到達(dá) 10A/100uS級(jí)的電流脈沖、 或 210V/1mS級(jí)的電壓脈沖；? 而PZ2121A?高速源表可以輸出10A/10uS的電流脈沖和高達(dá)15MSa/s采樣速率。

? ? ?源表的精度固然極高， 但在脈沖激勵(lì)或IV掃描時(shí)，如果不明確被測(cè)件的特性， 就很有可能測(cè)量結(jié)果與真實(shí)值存在非常大的偏差。如下圖所示，當(dāng)測(cè)量點(diǎn)為藍(lán)色圓圈 ?區(qū)域時(shí)，測(cè)量結(jié)果偏離實(shí)際響應(yīng)點(diǎn)；?響應(yīng)隨機(jī)波動(dòng)或存在噪聲，需要增大測(cè)量積分時(shí)間消去波動(dòng)或噪聲影響。

? ?? 因此，精確測(cè)量出被測(cè)件DUT在激勵(lì)下的電壓和電流響應(yīng)波形是非常重要，然而借助傳統(tǒng)示波器來(lái)觀察源表測(cè)量領(lǐng)域的電壓或電流波形， 但由于示波器的分辨率、靈敏度、噪聲等問題， 這種努力往往徒勞！?

? ? 是德科技提供B2900系列單/雙通道臺(tái)式源表，PZ2100系列20通道的模塊化源表，以及 B1500 半導(dǎo)體參數(shù)分析等面向不同應(yīng)用的源表平臺(tái)。?? ??????????? ? ?

? ?最后，除了上述硬件性能的差異，軟件對(duì)很多工程師來(lái)說也非常重要，如半導(dǎo)體器件測(cè)試時(shí)，您是否希望使用與國(guó)際最頂尖的芯片設(shè)計(jì)公司是一樣的軟件平臺(tái)？

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???Quick IV Measurement Software 軟件，操作簡(jiǎn)單、圖形清晰，支持一鍵式I-V伏安特性掃描等，支持B2900系列臺(tái)式源表和PZ2100 模塊化源表等硬件平臺(tái)。? ?

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