書籍：《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》

文章：處理硅和氮化物膜的技巧

編號(hào)：JFKJ-21-294

作者：炬豐科技

保持膜面朝上

? 如果膜面朝下放在一個(gè)表面上，就有可能膜或表面會(huì)破裂將會(huì)被污染。建議薄膜始終保持面朝上。區(qū)分蝕刻凹坑(后面)和膜(前面)之間的區(qū)別很容易用眼睛分辨出來(lái)。不同的是下面的插圖。

? 在可能的情況下，選擇設(shè)備的邊緣輕輕擠壓膠囊正對(duì)的部分，從包裝中取出膜(見(jiàn)右圖)。小心不要觸碰中心膜。

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薄膜一旦從包裝中取出，就應(yīng)該放在干凈的表面上(例如清潔室擦拭)和拾起的邊緣只(見(jiàn)左圖)。

使用干凈柔軟的鑷子工作

略

存儲(chǔ)???略

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