真空腔體（Vacuum chamber）是一種密封的容器，內部的氣壓遠低于大氣壓。它被廣泛應用于以下領域：

?

1. 材料處理與制備：例如薄膜沉積，這是一種將材料沉積在基板上的過程，需要在高度真空環(huán)境下進行以確保高純度和高質量的沉積物。

?

2. 真空測試：某些儀器和設備需要在低氣壓條件下進行性能和耐久性測試，例如太空器設備。

?

3. 半導體制程：真空對處理硅片和其他半導體材料至關重要，因為在高度真空環(huán)境下，避免了氧氣及其他化學反應物的產生。

?

4. 研究和實驗：很多物理和化學實驗需要在真空條件下進行，例如基本粒子物理實驗、低溫物理學、電子顯微鏡等。

?

5. 熱真空試驗：用于模擬太空中的低壓和低氣氛條件，對航天器進行實際工作環(huán)境的模擬試驗。

?

6. 吸氣設備：例如，真空泵將氣體從腔體中抽出，產生真空，可用于工業(yè)生產、實驗室研究等。

?

7. 真空包裝：這種包裝形式可以降低被包裝物品與空氣的接觸，有助于延長食品保質期，防潮和防霉等。

?

8. 蒸發(fā)和密封：真空腔體可以用于化工行業(yè)，實現(xiàn)高效蒸發(fā)和密封過程。

?

等離子體石英腔是一種石英材料制成的封閉腔室，內部常常充滿等離子體氣體。等離子體是一種高溫、高密度的氣體，由帶正電荷的離子和帶負電荷的電子組成，具有導電性能。這種石英腔可以用于等離子體物理研究、等離子體加工技術以及材料表面改性等領域。

?

等離子體石英腔可以有效地將等離子體與外界隔離，從而提高等離子體的純度和密度，同時保護外部設備不受等離子體的影響。例如，在半導體制造過程中，石英腔可以通過對氣體進行高頻電場激勵來產生等離子體，用于蝕刻、沉積和表面改性等工藝。此外，石英腔還能保持良好的熱穩(wěn)定性和耐腐蝕性，使其能夠在高溫、高壓和高氧化性的環(huán)境下，長期運行。