項(xiàng)目名稱

蘇州某環(huán)境工程制備超純水項(xiàng)目

工藝選擇

EDI出水+拋光樹脂

工藝原理

陰陽(yáng)離子吸附制備超純水

半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備

超純水通常指的是電阻率能夠達(dá)到18 MΩ*cm的水，是既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。

起初是美國(guó)科技界為研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，如今已廣泛應(yīng)用在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域。

半導(dǎo)體行業(yè)中的超純水，又名UP水，主要是半導(dǎo)體原材料生產(chǎn)加工、檢測(cè)和半導(dǎo)體器件的制備用水。電子元器件對(duì)超純水使用水質(zhì)要求高。市場(chǎng)環(huán)境變化使得元器件尺寸縮小與精細(xì)度上升，使得超純水水質(zhì)與水量的技術(shù)指標(biāo)不斷提升。

超純水制備主要包括以下三個(gè)階段，即初步吸附過(guò)濾階段、反滲透凈化階段和樹脂離子交換階段。

其中，離子交換即是將水中的正離子與離子交換樹脂中的H+離子交換，水中的負(fù)離子與離子交換樹脂中的OH-離子交換，從而達(dá)到純化水的目的。具體說(shuō)來(lái)主要有以下步驟：

1、原水：可用自來(lái)水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

2、預(yù)處理系統(tǒng)：原水箱、原水泵、殺菌劑、石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、換熱器、阻垢劑系統(tǒng)。

3、雙級(jí)反滲透系統(tǒng)：保安過(guò)濾器、高壓泵RO、反滲透系統(tǒng)。反滲透膜可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長(zhǎng)。

4、EDI系統(tǒng)：EDI的作用就是通過(guò)除去電解質(zhì)（包括弱電解質(zhì)）的過(guò)程，將水的電阻率從0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5、拋光樹脂：無(wú)化學(xué)析出的核子級(jí)樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達(dá)到18MΩ·cm以上。

6、終端超濾：能有效地去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌、熱源和有機(jī)物力。是整套系統(tǒng)最后的防火墻，確保產(chǎn)出的高純水不受二次污染。



項(xiàng)目概況

采用EDI+超純水拋光樹脂工藝，靈活運(yùn)用離子交換技術(shù)，利用兩端電極高壓使水中帶電離子移動(dòng)，并配合離子交換樹脂加速離子移動(dòng)去除，達(dá)到水純化的目的。

在這個(gè)工藝流程中，經(jīng)過(guò)離子交換出水水質(zhì)的高低主要取決于離子交換樹脂的質(zhì)量和交換柱內(nèi)水與樹脂的交換效率。

超純水拋光樹脂MB-106UP，它是由核子級(jí)強(qiáng)酸型陽(yáng)離子Tulsimer ? T-46Li 及核子級(jí)強(qiáng)堿型陰離子 Tulsimer ? A-33OH 以1:2 體積比的劑量比例 , 預(yù)先混合的混床級(jí)離子交換樹脂,專門提供給超純水系統(tǒng)拋光用。它具有交換容量及優(yōu)越的物理特性。

整個(gè)項(xiàng)目單罐運(yùn)行，出水電導(dǎo)率做到了18MΩ以上，并且運(yùn)行效果非常穩(wěn)定。