分子泵作為獲取真空環(huán)境的核心設(shè)備，在半導(dǎo)體和薄膜工業(yè)、核物理和表面科學(xué)等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。

分子泵大致可分為以下三類：

1)牽引式分子泵：氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子發(fā)生碰撞，獲得動能，分子泵被驅(qū)動到泵的出口。

2)渦輪分子泵：采用高速旋轉(zhuǎn)的動葉片和靜葉片相互配合，實(shí)現(xiàn)泵送分子泵。

3)復(fù)合分子泵：可在高壓區(qū)域保持較高的泵送性能在原渦輪分子泵的高壓側(cè)配置螺旋牽引分子泵，串聯(lián)兩個泵的泵單元。

那么為什么渦輪分子泵能夠在磁懸浮技術(shù)中有所應(yīng)用呢？原來是因?yàn)榉肿颖弥械拇艖腋≥S承。軸承是分子泵的關(guān)鍵部件，具有其他軸承不可替代的優(yōu)勢：

1)不需要任何潤滑油，實(shí)現(xiàn)無油化。

2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸，軸承的使用壽命很長。

3)與傳統(tǒng)軸承相比，轉(zhuǎn)子可以以非常高的速度運(yùn)行。

4)振動和噪聲很低。

5)泵的安裝姿態(tài)不受限制，可任意角度安裝。

那么以上內(nèi)容就是渦輪分子泵為什么能夠在磁懸浮技術(shù)中有所應(yīng)用的相關(guān)解答，希望對大家有所幫助~

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