在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤(rùn)滑、冷卻和密封作用。

這是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤(rùn)滑油，對(duì)于擴(kuò)散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤(rùn)滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。

真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。