3D相位偏折術(shù)原理概述
偏折術(shù)實際上屬于廣義上的面結(jié)構(gòu)光。
其主要原理如圖1, 即通過計算機編程產(chǎn)生正弦條紋,將該正弦條紋通過投影設(shè)備投影至被測物,利用相機拍攝條紋受物體調(diào)制的彎曲程度,解調(diào)該彎曲條紋得到相位,再將相位轉(zhuǎn)化為全場的高度。當然其中至關(guān)重要的一點就是系統(tǒng)的標定,包括系統(tǒng)幾何參數(shù)的標定和相機以及投影設(shè)備的內(nèi)部參數(shù)標定,否則很可能產(chǎn)生誤差或者誤差耦合。因為系統(tǒng)外部參數(shù)不標定則不可能由相位計算出正確的高度信息。
偏折術(shù)主要用于測量鏡面物體。一直以來,干涉法都是測量鏡面最佳方法,精度可以達到波長的幾百分之一,但是有一些局限性:1. 測量自由面型的鏡面物體時,干涉法所需要的光學補償原件制作復雜且昂貴;2. 回程誤差,干涉法很難快速標定;3. 測量環(huán)境苛刻,不適合干涉法測量,因為輕微抖動、溫度變化,會給測量帶來很大誤差;對于上面的問題,一般使用相位偏折術(shù)(PMD)來解決上述問題,相位偏折術(shù)對環(huán)境不敏感,沒有回程誤差,因而標定相對簡單,可以測量自由曲面。
其實偏折術(shù)系統(tǒng)跟結(jié)構(gòu)光系統(tǒng)是非常相似的,它的重建流程如下:(1)?標定相機,以及屏幕、相機位置關(guān)系(2)?使用屏幕投影條紋(結(jié)構(gòu)光使用投影儀)(3)?解碼獲取表面梯度(結(jié)構(gòu)光直接獲取高度)(4)?梯度積分獲取高度信息額外說明的是,偏折術(shù)系統(tǒng)中常說的“精度”達到幾納米,不是傳統(tǒng)意義上的“精度”,這是因為偏折術(shù)通常用來測量純鏡面反射的物體表面,比如說天文望遠鏡的鏡面,它的模型假設(shè)中也假設(shè)參考平面跟待測鏡面在同一高度,所以精度甚至可以達到幾納米。

下面講解其原理:1.產(chǎn)生正弦條紋圖,因為后續(xù)要利用變形條紋圖獲取相位,而獲取相位的算法也有多種,這里采用的是四步移相法。因此這里產(chǎn)生四幅相位差pi/2的條紋。然后將該四幅條紋分時投影到被測物上,采集調(diào)制條紋圖,同時要采集參考面的條紋。


2.相位恢復由采集到的受調(diào)制條紋圖計算出被調(diào)制相位,這里得到的相位圖是截斷相位圖,因為移相算法得到的結(jié)果是由反正切函數(shù)計算所得,因而被限制在[-pi,pi]之間,也就是說每當其值超過該范圍,又會重新開始。解決上述問題需要消除跳變,即將截斷相位恢復為連續(xù)相位。3.上述二者相減得到相位差,該相位差則表征了被測物相對參考面的高度信息,再代入相位與高度轉(zhuǎn)化公式(其中相應(yīng)參數(shù)經(jīng)過標定),得到如下三維模型。

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