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國(guó)產(chǎn)晶圓劃片機(jī)之陸芯精密切割優(yōu)勢(shì)及工藝

2021-12-13 15:00 作者:博捷芯劃片機(jī)  | 我要投稿

陸芯精密晶圓切割機(jī)優(yōu)勢(shì)

1.設(shè)備精準(zhǔn)度高(0.0001mm)

2.切割精度1.5um

3.效率高

4.加工品種多樣化(晶圓、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等)

5.成本低(設(shè)備、加工耗材、設(shè)備保養(yǎng)維護(hù))

6.環(huán)境要求低(普通千級(jí)無塵車間)

7.操作簡(jiǎn)單易懂易上手(對(duì)標(biāo)DISCO)

8.售后服務(wù)好

9.機(jī)器交付周期短


常見切割品種及簡(jiǎn)單工藝介紹


??一、BGA/WAFER類晶圓?


切割刀片

SD1000N25MR0207???52D*0.048T*40H

膜型號(hào)

LINTEC?

主軸轉(zhuǎn)速

28000-30000rpm

切割水流量

Blade?1.0-1.2L/min

Shower?0.8-1.2L/min

校準(zhǔn)方式

手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片



二、二極管、三極管、MOS管類硅片


切割刀片

ZH05-SD4000-N1-70BA

膜型號(hào)

SPV224

主軸轉(zhuǎn)速

38000-50000rpm

切割水流量

Blade?1.2-1.5L/min

Shower?1.0-1.2L/min

校準(zhǔn)方式

手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片



三、氧化鋁、碳化硅類陶瓷


切割刀片

SDC500-R75TNF?56D×0.15T×40H

膜型號(hào)

LINTEC?

主軸轉(zhuǎn)速

25000-35000rpm

切割水流量

Blade?1.2-1.5L/min

Shower?1.0-1.2L/min

校準(zhǔn)方式

手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

平均30min/片



四、光學(xué)玻璃、浮法玻璃類


切割刀片

SD1000N25MR0207????56D*0.1T*40H

膜型號(hào)

LINTEC?

主軸轉(zhuǎn)速

28000-35000rpm

切割水流量

Blade?0.8-1.0L/min?

Shower?1.0-1.2L/min

校準(zhǔn)方式

手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

平均20min/片



五、QFN/DFN類


切割刀片

SDC320R01Q????58D-0.3T-40H

膜型號(hào)

6360-15

主軸轉(zhuǎn)速

21000rpm

切割水流量

Blade?1.2-1.5L/min

Shower?1.2-1.5L/min

校準(zhǔn)方式

自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

5-8min/條




六、PCB/MEMS基板類


切割刀片

D8/20-MDS???56D-0.1T-40H2d/1W/16N

膜型號(hào)

6360-15

主軸轉(zhuǎn)速

25000rpm

切割水流量

Blade?1.2-1.5L/min

Shower?1.2-1.5L/min

校準(zhǔn)方式

自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

5min/條



七、碳纖維板、玻璃纖維板類


切割刀片

D8/20-MDS???56D-0.1T-40H2d/1W/16N

膜型號(hào)

6360-15

主軸轉(zhuǎn)速

35000rpm

切割水流量

Blade?1.2-1.5L/min

Shower?1.2-1.5L/min

校準(zhǔn)方式

手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)

切割效率

20min/片



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