國(guó)產(chǎn)晶圓劃片機(jī)之陸芯精密切割優(yōu)勢(shì)及工藝
陸芯精密晶圓切割機(jī)優(yōu)勢(shì)
1.設(shè)備精準(zhǔn)度高(0.0001mm)
2.切割精度1.5um
3.效率高
4.加工品種多樣化(晶圓、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等)
5.成本低(設(shè)備、加工耗材、設(shè)備保養(yǎng)維護(hù))
6.環(huán)境要求低(普通千級(jí)無塵車間)
7.操作簡(jiǎn)單易懂易上手(對(duì)標(biāo)DISCO)
8.售后服務(wù)好
9.機(jī)器交付周期短

常見切割品種及簡(jiǎn)單工藝介紹

??一、BGA/WAFER類晶圓?
切割刀片
SD1000N25MR0207???52D*0.048T*40H
膜型號(hào)
LINTEC?
主軸轉(zhuǎn)速
28000-30000rpm
切割水流量
Blade?1.0-1.2L/min
Shower?0.8-1.2L/min
校準(zhǔn)方式
手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片

二、二極管、三極管、MOS管類硅片
切割刀片
ZH05-SD4000-N1-70BA
膜型號(hào)
SPV224
主軸轉(zhuǎn)速
38000-50000rpm
切割水流量
Blade?1.2-1.5L/min
Shower?1.0-1.2L/min
校準(zhǔn)方式
手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片

三、氧化鋁、碳化硅類陶瓷
切割刀片
SDC500-R75TNF?56D×0.15T×40H
膜型號(hào)
LINTEC?
主軸轉(zhuǎn)速
25000-35000rpm
切割水流量
Blade?1.2-1.5L/min
Shower?1.0-1.2L/min
校準(zhǔn)方式
手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
平均30min/片

四、光學(xué)玻璃、浮法玻璃類
切割刀片
SD1000N25MR0207????56D*0.1T*40H
膜型號(hào)
LINTEC?
主軸轉(zhuǎn)速
28000-35000rpm
切割水流量
Blade?0.8-1.0L/min?
Shower?1.0-1.2L/min
校準(zhǔn)方式
手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
平均20min/片

五、QFN/DFN類
切割刀片
SDC320R01Q????58D-0.3T-40H
膜型號(hào)
6360-15
主軸轉(zhuǎn)速
21000rpm
切割水流量
Blade?1.2-1.5L/min
Shower?1.2-1.5L/min
校準(zhǔn)方式
自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
5-8min/條

六、PCB/MEMS基板類
切割刀片
D8/20-MDS???56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型號(hào)
6360-15
主軸轉(zhuǎn)速
25000rpm
切割水流量
Blade?1.2-1.5L/min
Shower?1.2-1.5L/min
校準(zhǔn)方式
自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
5min/條

七、碳纖維板、玻璃纖維板類
切割刀片
D8/20-MDS???56D-0.1T-40H2d/1W/16N
膜型號(hào)
6360-15
主軸轉(zhuǎn)速
35000rpm
切割水流量
Blade?1.2-1.5L/min
Shower?1.2-1.5L/min
校準(zhǔn)方式
手動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)校準(zhǔn)
切割效率
20min/片