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光刻機(jī)到底是什么玩意?

2021-03-24 08:48 作者:北美補(bǔ)鍋匠  | 我要投稿

這個(gè)問(wèn)題縈繞多時(shí):整天說(shuō)中國(guó)的芯片被光刻機(jī)卡脖子了,這光刻機(jī)難道比國(guó)人到月球取土還難,比人造衛(wèi)星,核武器,航母還復(fù)雜?

中國(guó)不缺錢,動(dòng)輒投資數(shù)百億,況且牽扯到華為的需要,錢袋子理應(yīng)又大又深。中國(guó)也不缺人才,海歸加上土鱉,是目前的科研產(chǎn)量大國(guó)??傊瑧{中國(guó)的實(shí)力,卻對(duì)高端光刻機(jī)望洋興嘆,令人疑惑。

為探究一下深不可測(cè)的光刻機(jī),看了些零星科普,也粗讀到了荷蘭人寫的關(guān)于當(dāng)今光刻機(jī)巨無(wú)霸ASML的一本書 (書名:ASML’s Architects,光刻巨人),了解些ASML如何崛起為光刻機(jī)世界的獨(dú)家老大而一騎絕塵,有了點(diǎn)實(shí)實(shí)在在的感覺(jué),原來(lái)這斯光刻機(jī)確實(shí)來(lái)頭不小,甚至不是一堆鈔票馬上可得到的技術(shù)。

先要提下翻番。原來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)有個(gè)摩爾定律,此摩爾非高中化學(xué)的摩爾, 而是英特爾創(chuàng)始人戈登 摩爾(Gordon Moore)的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)談,他60年代預(yù)測(cè)半導(dǎo)體芯片上的晶體管數(shù)量每?jī)赡暌?,否則研發(fā)者會(huì)被競(jìng)爭(zhēng)淘汰出局,他的說(shuō)法被業(yè)界奉為摩爾定律,芯片的發(fā)展大致按這個(gè)套路前行。

要在一個(gè)固定面積的芯片上翻番晶體管數(shù)量,就必須縮小其單個(gè)晶體管體積,也就是常說(shuō)的芯片納米級(jí)數(shù),ASML的光刻機(jī)可以做到了5納米,這是什么概念呢?換算是這樣的,1厘米等于1千毫米,1毫米又等于1千微米,1微米再等于1千納米。人頭發(fā)的粗細(xì)大致是0.05毫米左右,5納米相當(dāng)于頭發(fā)直徑的萬(wàn)分之一大小。

要造如此微小的元件,肉眼肯定無(wú)濟(jì)于事,低倍顯微鏡也遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠用了,這就要顯示光刻機(jī)的威力了,依此技術(shù),一塊芯片上可以安置幾十億個(gè)晶體元件,實(shí)在難以想象。難怪一臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值一兩億美金,而且一臺(tái)難求。

據(jù)說(shuō)國(guó)內(nèi)光刻機(jī)的精度達(dá)到28納米,而受美國(guó)的出口限制,荷蘭ASML光刻機(jī)不準(zhǔn)出售到中國(guó),就連芯片代加工商臺(tái)灣臺(tái)積電也禁止為華為等中國(guó)企業(yè)加工高端芯片,因?yàn)镾AML也好,臺(tái)積電也罷,都受美國(guó)技術(shù)控制,這就是中國(guó)被卡脖子的原因。

簡(jiǎn)單理解,光刻機(jī)就像一架超高精度的照相機(jī),把設(shè)計(jì)好的電路圖投影到小小的硅片上,由超過(guò)精密的操作儀器有序加工。像攝影一樣,有關(guān)鍵的三要素,即高質(zhì)鏡頭,良好光源,穩(wěn)固機(jī)身。荷蘭EUV (極紫外光extreme ultra violet)光刻機(jī)是當(dāng)今最高端產(chǎn)品,把這三者應(yīng)用到了極致。

鏡片來(lái)自德國(guó)蔡司,全球顯微鏡制造巨人,是德國(guó)工匠中的工匠,磨鏡工被譽(yù)為“金手指”, 細(xì)工出慢活,一年為光刻機(jī)磨成的鏡片很有限。光源的應(yīng)用也匪夷所思,極紫外光是由英特爾牽頭組建包括幾個(gè)美國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的一個(gè)龐大組織,花費(fèi)數(shù)百億美元的重大研究成果。精密儀器的基座要超穩(wěn)定,在真空操作,否則會(huì)失之納厘 差之千里了,而電子巨頭飛利浦公司和德國(guó)頂尖廠商在此領(lǐng)域鼎立相助,所以,荷蘭的光刻機(jī)是世界多項(xiàng)頂尖技術(shù)的集大成者。


如此高端的儀器為何落入名不見經(jīng)傳的荷蘭公司ASML?其實(shí)ASML出身不凡,前身是大名鼎鼎飛利浦公司的一個(gè)實(shí)驗(yàn)室,但因燒錢太多而由看不到前景被飛利浦掃地出門。ASML在風(fēng)雨飄搖中苦苦支撐,多虧領(lǐng)導(dǎo)層高瞻遠(yuǎn)矚堅(jiān)韌不拔,充分發(fā)揮荷蘭人“海上馬車夫”高超的資金運(yùn)作能力,求爺爺告奶奶總算在高額投資中沒(méi)有斷炊,熬到了柳暗花明又一村。

80年代日本尼康光刻機(jī)發(fā)展如日中天,把美國(guó)幾個(gè)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手打得落花流水逼出江湖,占據(jù)全球市場(chǎng)半壁江山。那時(shí),位于荷蘭一個(gè)不足30萬(wàn)人小城的ASML有雄心但仍缺實(shí)力,汗衫上印著“我們將打敗日本人”的員工揮灑汗水,堅(jiān)信梅花香自苦寒來(lái),最后必勝的信念真的夢(mèng)想成真,如今尼康只能在低端產(chǎn)品有一席之地,而高端光刻機(jī)則被ASML甩出幾道街了。

不看不知道,一看嚇一跳,原來(lái)光刻機(jī)包涵了眾多領(lǐng)域的尖端技術(shù),實(shí)實(shí)在在的超高端產(chǎn)品,非一朝一日之功。芯片是當(dāng)今世界的核心產(chǎn)品,競(jìng)爭(zhēng)會(huì)愈加激烈,研發(fā)投入會(huì)是天文數(shù)字,中國(guó)在被卡脖子之下正奮力追趕,將來(lái)誰(shuí)主沉浮,拭目以待。

本文由北美補(bǔ)鍋匠原創(chuàng),歡迎關(guān)注,帶你一起長(zhǎng)知識(shí)!


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