露點(diǎn)監(jiān)控器在半導(dǎo)體生產(chǎn)中監(jiān)控氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)中的應(yīng)用
氣體在工業(yè)應(yīng)用十分廣泛,如化工、鋼鐵、半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療、石油、食品等,其種類繁多,可分為一般特殊氣體和工業(yè)氣體。以使用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為例,氮?dú)庠诎雽?dǎo)體制程中是相當(dāng)重要的氣體之一,且使用量最大,因其特性不導(dǎo)電且降溫速度快,可在制程中對(duì)設(shè)備產(chǎn)生保護(hù)作用,還可使用在危險(xiǎn)氣體與空氣作隔離或低溫測(cè)試。

而氣體供應(yīng)系統(tǒng)的氮?dú)?,要求更是?yán)格,需達(dá)到高潔凈、高純度及高度干燥等條件;其中為控制干燥程度,在氣體供應(yīng)輸送系統(tǒng)的過(guò)程,會(huì)設(shè)置露點(diǎn)監(jiān)控器來(lái)監(jiān)控氣體是否足夠低濕。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)使用的氮?dú)獯蠖鄷?huì)直接接觸電子零件,純度需達(dá)到ppm、ppb級(jí),潔凈度則為塵埃粒徑控制小于0.1~0.05m,干燥度達(dá)到壓力露點(diǎn)-40℃ ~-70℃。
為達(dá)到氮?dú)馐褂玫臉?biāo)準(zhǔn),一般會(huì)安裝露點(diǎn)監(jiān)控器,如此一來(lái)可以更精準(zhǔn)的讓氮?dú)獾穆饵c(diǎn)值保持在極低濕的程度,以提高制程中的良率。
研成工業(yè)露點(diǎn)監(jiān)控器IE140A測(cè)量氣體內(nèi)的微量濕度。濕度監(jiān)控器IE140A用于在線測(cè)量空氣中的絕對(duì)水含量(露點(diǎn))??,應(yīng)用于工廠無(wú)塵車間和實(shí)驗(yàn)室等環(huán)境。?

以半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用而言,氮?dú)獾募兌?、潔凈度需控制在一定的范圍?nèi),也因會(huì)直接接觸精細(xì)的加工制程,改善微量濕氣更是大大影響制程中產(chǎn)品的良率,經(jīng)行業(yè)調(diào)查, 25%以上的工業(yè)不良品,全是因無(wú)有效控制低濕環(huán)境所造成的損害,可見(jiàn)露點(diǎn)監(jiān)控器是不可忽視的監(jiān)控設(shè)備;幫助工廠節(jié)省成本,也能達(dá)到較佳之實(shí)用性與安全性。